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出版文献量（篇）
4084
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19905
真空科学与技术学报
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本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
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摘要： 论述了溅射沉积薄膜技术的发展历程及其目前的研究应用状况.二极溅射应用于薄膜制备,揭开了溅射沉积技术的序幕,磁控溅射促使溅射沉积技术进入实质的工业化应用,并通过控制磁控靶磁场的分布方式和增加磁...
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摘要：
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摘要： 综述了脉冲激光沉积(PLD)薄膜技术的研究现状,并按照研究方向将整个研究领域分为三个部分:PLD法沉积薄膜的机理,PLD的工艺研究以及PLD法沉积的主要薄膜材料,分别进行了阐述,对相关的研究...
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5. 划痕法综合评定膜基结合力摘要： 用划痕实验探索了综合表征膜基结合力的方法.在瑞士CSM仪器的微划痕测试仪(Micro-Scratch Tester,MST划痕仪)对真空多弧离子镀设备制备的WC-Co/TiN膜基结合力进行划...
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摘要： VO2是一种固态热致变色材料,随着温度的变化它的晶态结构会从半导体态相变到金属态,而且相变可逆.由于相变前后电、磁、光性能有较大的变化,这使得它成为一种有前景的电/光转换、光存储、激光保护和...
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7. 氧化锌薄膜制备技术的评价摘要： 详细介绍了各种制备氧化锌薄膜的方法,包括磁控溅射法、化学气相沉积法、喷雾热解法、溶胶凝胶法、激光脉冲沉积法、分子束外延法、原子层外延生长法.阐述了这些方法的机理、沉积条件、所需的反应物以及制...
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8. 声表面波器件的研究进展摘要： 声表面波器件作为一种新型的电子器件,近年来引起了人们极大的关注,在科学研究领域有了较大的进展,在现代无线通讯领域的应用范围日趋广泛.本文简述了目前国际上出现的声表面波器件的制备方法、性能研究...
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摘要： 采用射频磁控溅射方法制备出纳米二氧化钛(TiO2)薄膜,研究了不同退火温度对薄膜微观结构和超亲水性的影响.结果表明:退火温度升高,晶粒长大,孔隙率减小;常温制备300 ℃以下退火的TiO2薄...
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摘要： 用直流反应磁控溅射法制备ZAO纳米薄膜,对这种薄膜进行了XRD分析,并对其光、电性能作了详细的研究.结果表明:ZAO薄膜的结构为标准的ZnO纤锌矿相,没有Al2O3相出现;其最低电阻率为4....
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摘要：
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12. 发展中的溅射靶材摘要： 作为制备和生产功能薄膜的方法之一,溅射法广泛应用于许多领域.它是目前制备金属薄膜最常用的工艺.作为高技术用的靶材是一种全新的概念.随着高技术用新材料突飞猛进的发展,世界靶材的市场销售规模日益...
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13. ZnO:Al透明导电薄膜的研制摘要： 介绍用直流平面磁控溅射方法制备掺铝的氧化锌透明导电薄膜并研究了其特性,阐述了金属氧化物透明导电薄膜研究的发展情况及其应用前景,并讨论了氧化锌掺铝薄膜的优点.介绍了ZnO:Al薄膜的制备情况:...
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14. 磁控溅射法制备电磁屏蔽织物的研究摘要： 本文采用直流磁控溅射在无纺布基底上溅射沉积金属铜来制备电磁屏蔽织物.通过原子力显微镜观察发现,工艺参数对溅射沉积速率以及膜层的表面形貌都有较大的影响.在一定范围内,溅射功率越大,沉积速率越大...
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摘要： 建立了空气中产生大气压下辉光放电(APGD)和介质阻挡放电(DBD)的装置,通过放电的电气特性和发光特性测量,界定了APGD和DBD的放电特点.研究了空气中APGD和DBD对聚四氟乙烯(PT...
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16. 物理气相沉积薄膜的界面与附着力摘要： 近十多年来，气相沉积技术发展十分迅速，无论在理论研究还是应用研究上都取得了丰硕的成果，尤其在PVD薄膜的附着力方面，研究十分活跃。本文根据有限的资料，初步归纳出：在PVD过程中，膜/基附着力...
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17. 类单晶氧化锌纳米棒的制备与表征摘要： 用简单的无催化剂、高温热蒸发方法制备氧化锌纳米棒,得到了具有良好晶体结构和规则外形的ZnO纳米棒,长度为(1-5)μm,直径约几十纳米.测量了ZnO纳米棒的光致发光特性.讨论了实验条件对纳米...
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18. 新型透明导电薄膜In2O3∶Mo摘要：
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19. 等离子体微细加工技术的新进展摘要：
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20. 磁控溅射离子束流密度的研究摘要： 磁控溅射镀膜技术由于具有显著的优点而得到了广泛的应用.磁控溅射离子束流密度的大小及分布状况,直接决定着薄膜质量的优劣.本文通过对比研究了普通磁控溅射(MS)和非平衡磁控溅射(UBMS)两种工...
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摘要： 在室温下采用射频溅射法制备纳米TiO2薄膜,并用XRD、AFM、Raman谱仪等手段研究了不同溅射气压及不同退火温度处理后薄膜的结构及其相应的亲水性、光催化能力.结果表明:在室温下制备的薄膜...
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摘要： 研究了退火温度对中频交流反应磁控溅射技术制备的TiO2薄膜结构和表面形貌的影响.利用X射线衍射仪和原子力显微镜,检测了TiO2薄膜的晶体结构和表面形貌.实验结果显示:沉积态TiO2薄膜为非晶...
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摘要： 针对猕猴桃干燥过程所存在的各种问题,提出并分析了圆筒真空干燥箱和箱式真空干燥箱方案的特点,优先选择箱式真空干燥室试验了猕猴桃切片的干制.本试验以热风干燥为参照对象,分析了它们之间的干燥时间,...
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摘要： nc-Si:H膜具有显著不同于a-Si:H与μc-Si:H膜的新颖结构与物性.从热力学反应的基元过程出发,定性地分析了本征nc-Si:H与掺磷nc-Si(P):H膜的沉积机理,并提出了进一步...
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摘要： 采用气相合成法制备纳米微粉时，由反应合成区生成的纳米微粒在随气流流向收集装置的过程中，因相互碰撞、粘附而发生团聚现象，形成较大的颗粒。本文论述了团聚现象发生的原因，借用气体分子动力学理论，计...
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摘要： 钛酸锶钡(BST)薄膜是一种重要的铁电薄膜,应用广泛,是高新技术研究的前沿和热点之一.简要介绍了BST薄膜的制备方法和应用,对此薄膜的基片、电极、晶界、界面、热处理、膜厚及组成、结构、性能等...
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27. 真空碳热还原氯化法从铝土矿炼铝摘要： 采用真空碳热还原氯化法从铝土矿炼铝,实验结果表明:用这种方法可以从铝土矿一步得到纯度为93.82%的金属铝,而铝土矿中的其他杂质与碳会发生反应,但因为这些杂质及其反应产物没有挥发性而留在反应...
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28. 超高/极高真空校准装置的研制摘要： 超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统和供气系统四部分组成.使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气,在XHV校准室获得了10-10 Pa...
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摘要： 为探讨多孔铝阳极氧化膜的形成机理,研究了不同气压条件下铝在磷酸溶液中的阳极氧化过程,发现在真空下进行阳极氧化,氧气析出非常明显.通过测定不同气压下的阳极氧化曲线,分析了致密膜向多孔氧化铝膜的...
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30. 空气中均匀介质阻挡放电研究进展摘要： 介质阻挡放电(DBD)可以在大气压下产生低温等离子体,在工业领域具有广泛的应用前景.相对于低气压均匀DBD和大气压丝状DBD,大气压均匀DBD在节约生产成本、提高生产效率以及优化处理效果等方...
真空科学与技术学报基本信息
| 刊名 | 真空科学与技术学报 | 主编 | 吴锦雷 |
| 曾用名 | 真空科学与技术 | ||
| 主办单位 | 中国真空学会 | 主管单位 | 中国科学技术协会 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1672-7126 | CN | 11-5177/TB |
| 邮编 | 100022 | 电子邮箱 | vst@chinesevacuum.com |
| 电话 | 010-58206280 | 网址 | |
| 地址 | 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室 |
真空科学与技术学报评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 化学文摘(美) |
| 2. | 中国科学引文数据库 |
| 3. | 日本科学技术振兴机构数据库(日) |
| 4. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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