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19905

真空科学与技术学报

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Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

曾用名：真空科学与技术

CA CSCD JST CSTPCD

影响因子 0.3586

本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。

主办单位：

中国真空学会

ISSN：

1672-7126

CN：

11-5177/TB

出版周期：

月刊

邮编：

100022

地址：

北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

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热门刊内文献

年度刊次

1. 新型彩色交流等离子体显示器的研究

作者：刘纯亮孙鉴沈思宽范玉锋

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 1-4

摘要：在充分了解与研究现有技术的基础上,设计出了结构新颖、性能良好的新的PDP结构,以及与之配合的工作方式和驱动方法,据此制作了实验屏,获得了良好结果.
2. α-Al2O3基片(0001)表面及其对ZnO吸附位置研究

作者：刘兴钊刘永华张鹰李言荣杨春陶佰万

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 5-10

摘要：建立了一种2×2α-Al2O3 (0001)基片表面吸附ZnO模型,在周期边界条件下的k空间中,采用基于密度泛函理论的局域密度近似平面波超软赝势法,对α-Al2O3 (0001)基片表面结构...
3. 盘型分子泵3D过渡流特性

作者：于治明刘波巴德纯杨乃恒王晓冬

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 11-15

摘要：采用直接模拟蒙特卡罗方法对过渡流态下盘型分子泵的抽气特性进行了模拟研究,并讨论了盘型分子泵通道几何参数对流动特性的影响.指出了通过改变泵的尺寸参数提高抽气系数的途径.最后,进行了实验研究和模...
4. 类单晶氧化锌纳米棒的制备与表征

作者：俞大鹏奚中和张旭东张蔷薛增泉邢英杰

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 16-18

摘要：用简单的无催化剂、高温热蒸发方法制备氧化锌纳米棒,得到了具有良好晶体结构和规则外形的ZnO纳米棒,长度为(1-5)μm,直径约几十纳米.测量了ZnO纳米棒的光致发光特性.讨论了实验条件对纳米...
5. 低噪声MCP的结构研究

作者：傅文红常本康

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 19-21

摘要：本文说明了MCP产生光子散射和电子散射的机理,提出通过对微通道板输入表面采用扩口技术,来提高微通道板的开口面积比,从而降低微通道板的噪声的方法,建立了漏斗型MCP的数学模型,及降低MCP的噪...
6. 低能电子投射全息的计算机模拟和数值重现研究

作者：凌立孙毅顾昌鑫

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 22-26

摘要：点源发出的低能量电子波经过样品的散射后,带有物体原子结构信息的散射波(物波)和未被散射的电子波(参考波)在收集平面上相互干涉形成的电子全息图即为低能电子投射全息图.本文在合理的物理模型下,以...
7. 多阳极微通道阵列(MAMA)探测器及其应用

作者：冯兵李慧蕊申屠军赵文锦

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 27-32

摘要：一种全新的可用于二维光子计数的真空成像器件--多阳极微通道阵列(multi-anode microchannel array简称MAMA)探测器,能探测单个光子的位置信息.本文详细阐述了该探...
8. 新型微波ECR-PECVD装置的研制

作者：张永清粟亦农阴生毅陈光华

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 33-36

摘要：介绍一台新型的ECR-PECVD装置.这一装置设计和采用了一种由单个电磁线圈和永磁体单元组合的新型磁场,使整个装置结构明显简化.为提高装置的微波转换效率,通过计算机仿真微波场在等离子体室的分...
9. ICP等离子体源天线设计

作者：吴振宇杨银堂汪家友

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 37-39

摘要：感应耦合等离子体技术以其低气压下产生高密度等离子体的能力及良好的可扩展性成为微细加工中的重要的加工技术之一.本文提出了一种新型的三段式线圈的设计方法,对激发电场进行了数值计算.结果表明设计的...
10. 纯铜双层辉光离子渗镍研究

作者：徐重苏永安袁庆龙

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 40-42

摘要：介绍了采用双层辉光离子渗金属技术在纯铜表面制备Cu-Ni合金层的新方法,讨论了Cu-Ni合金层的组织、成分和性能特点,分析了辉光放电条件、源极溅射率及表面金属势对Cu-Ni合金层形成过程的影...
11. 基体负的低偏压对氟化非晶态碳膜结构及性能的影响

作者：姚志强孙鸿杨萍王进黄楠

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 43-46

摘要：为了研究基体负的低偏压Vb对氟化非晶态碳膜的结构、纳米硬度和疏水性能的影响,采用等离子体浸没与离子注入装置,CF4和CH4作为气源,在不同的基体偏压下制备了一系列氟化非晶态碳膜.使用XPS、...
12. 丝网印刷制备碳纳米管场发射阴极的研究

作者：周雪东张宇宁李俊涛李家会王琦龙雷威

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 47-50

摘要：碳纳米管(CNT)是理想的场发射阴极材料.本文分析了CNT的长度、直径以及排列密度与CNT阴极场增强因子的关系,研究了大面积CNT场发射阴极的丝网制备技术,包括CNT浆料配制、阴极电极的制作...
13. 基于故障树的RH-KTB大型真空系统智能故障诊断

作者：巴德纯王庆王晓冬靳雨菲

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 51-54

摘要：用于钢水炉外精炼的RH-KTB大型真空系统的故障点种类多且故障间的关系复杂.一旦发生故障很难找出故障的原因.本文根据故障树的分析法对RH-KTB炉外精炼大型真空系统的故障特点进行了系统分析,...
14. MgO载体化学气相沉积法制备碳纳米管的影响因素

作者：力虎林李梦轲王起才黄良甫

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 55-58,70

摘要：用MgO载体化学气相沉积(CVD)技术制备了碳纳米管(CNTs).并用扫描电镜(SEM)、高分辨透射电镜(HRTEM)和微区拉曼光谱仪研究分析了各种沉积条件下CNTs的形貌结构.对CVD法制...
15. HT-7中性束注入装置真空监控系统的设计

作者：朱武王莉胡纯栋

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 59-62

摘要：超导托卡马克装置HT-7中性束注入系统运行期间,实验环境中存在强磁场而要求封闭,因而对系统运行状况只能进行远距离监控,真空实时远程监控系统是整个监控系统的重要组成部分.本文介绍了真空实时远程...
16. 超高真空中SrTiO3薄膜同质外延生长的过程研究

作者：刘兴钊张鹰李言荣李金隆邓新武陶伯万

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 63-66

摘要：在超高真空下利用激光分子束外延(LMBE)方法基于SrTiO3(100)单晶基片同质外延SrTiO3薄膜.通过反射式高能电子衍射(RHEED)对生长过程进行原位监测,发现对基片的预热处理明显...
17. 浸渍阴极用铝酸盐的研究

作者：廖显恒王小霞罗积润赵青兰

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 67-70

摘要：本文主要对浸渍钡钨阴极用612(6BaO∶CaO∶2Al2O3)铝酸盐的烧结合成工艺、结构分析及性能测量进行了研究.结构分析结果发现:相同的6BaO∶CaO∶2Al2O3,在不同的烧结温度、...
18. 电子回旋共振等离子体源的朗谬尔探针诊断

作者：吴振宇杨银堂汪家友

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 71-73

摘要：电子回旋共振(ECR)等离子体以其密度高、工作气压低、均匀性好、参数易于控制等优点在超大规模集成电路工艺中获得了广泛的应用.利用朗谬尔探针对ECR等离子体进行了初步的诊断研究,测量了等离子体...
19. 磁控溅射离子束流密度的研究

作者：徐均琪杭凌侠蔡长龙

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 74-76

摘要：磁控溅射镀膜技术由于具有显著的优点而得到了广泛的应用.磁控溅射离子束流密度的大小及分布状况,直接决定着薄膜质量的优劣.本文通过对比研究了普通磁控溅射(MS)和非平衡磁控溅射(UBMS)两种工...
20. 基于RFPECVD方法不锈钢上沉积类金刚石薄膜的机械与摩擦特性

作者：巴德纯王志蔺增闻立时

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年1期

页码: 77-80

摘要：讨论用射频等离子体增强化学气相沉积(RFPECVD)工艺,在室温下实现在1Cr18Ni9Ti不锈钢基底上镀类金刚石(DLC)膜.为提高DLC膜的结合力,首先在不锈钢基底上沉积Ti/TiN/T...
21. 射频磁控溅射制备纳米TiO2薄膜及其光致特性研究

作者：崔晓莉杨锡良沃松涛沈杰章壮健

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年2期

页码: 81-86

摘要：在室温下采用射频溅射法制备纳米TiO2薄膜,并用XRD、AFM、Raman谱仪等手段研究了不同溅射气压及不同退火温度处理后薄膜的结构及其相应的亲水性、光催化能力.结果表明:在室温下制备的薄膜...
22. TiO2薄膜溅射工艺参数对其光催化性能的影响

作者：侯亚奇吴敏生庄大明张弓

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年2期

页码: 87-91,104

摘要：利用中频交流反应磁控溅射方法制备TiO2薄膜光催化剂,研究了溅射工艺参数对薄膜光催化能力的影响.采用动态反应系统,紫外光源为TUV,降解对象为0.02 mmol/L亚甲基蓝溶液.结果发现:A...
23. a-SiOx∶C薄膜的结构与发光特性研究

作者：吴雪梅李群诸葛兰剑项苏留

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年2期

页码: 92-94

摘要：采用双离子束共溅射法制备了SiOx∶C薄膜.对样品的XRD和TEM测试结果表明薄膜为非晶结构;PL谱图显示有两个发光峰分别位于420 nm(紫光)、470 nm(蓝绿光)处;470 nm处的...
24. 钛酸纳米管的AFM和STM研究

作者：申自勇陈清韦东杰高崧

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年2期

页码: 95-99

摘要：使用AFM 和STM研究了钛酸纳米管.得到了纳米管表面的精面结构.在纳米管表面观察到一个约0.8nm高的大台阶,这是由于纳米管的螺旋特性造成的.还观察到表面各处有楞边平行于管轴的小台阶.这些...
25. 离子束溅射沉积Co膜光学特性的尺寸效应研究

作者：叶敏易葵范平范正修邵建达齐红基

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年2期

页码: 100-104

摘要：本文采用离子束溅射沉积了不同厚度的Co膜,利用Lambda-900分光光度计,对不同厚度的Co膜从波长为310nm到1300nm范围测量了薄膜的反射率和透射率.选定波长为310、350、40...
26. 磁镜场约束中粒子运动的数值计算

作者：刘玉文吴为敬姚若河张晓东

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年2期

页码: 105-108

摘要：由单粒子轨道理论,从分析磁镜场中荷电粒子的受力情况出发,应用计算机数值求解方法模拟了磁镜场中荷电粒子的运动情况.结果表明:与经典的理论分析结果不同,当荷电粒子的起始位置与磁轴的距离不等于其拉...
27. 真空环境下空间碎片超高速撞击试验研究

作者：童靖宇董洪建黄本诚

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年2期

页码: 109-112

摘要：本文介绍了空间碎片的超高速发射技术及微小碎片的地面模拟试验.我国首次在真空环境下将激光驱动飞片技术应用到空间碎片的研究中.利用13.5 J的激光能量将厚60μm,直径φ2 mm的铝碎片驱动出...
28. 应用逐层传热模型分析高真空多层绝热中的传热过程

作者：汪荣顺石玉美肖志宏顾安忠

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年2期

页码: 113-117

摘要：本文在量热研究所得到的实验数据的基础上,通过建立逐层传热模型,对高真空多层结构中的传热过程进行了分析.计算结果和实验数据的比较表明:模型较好的解决了反射屏间固体传热量难以用特定的公式进行计算...
29. 新型荫罩式PDP效率三维模拟研究

作者：尹涵春屠彦张雄杨兰兰王保平童林夙

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年2期

页码: 118-124

摘要：针对目前PDP效率较低的问题,本文采用三维流体模型计算了新型荫罩式PDP(SMPDP)不同放电单元结构的放电特性和放电效率.在此基础上采用蒙特卡罗模型,研究了SMPDP放电单元中的光子辐射和...
30. CdS薄膜的光学及其电学性能的研究

作者：何智兵韩高荣

刊名：真空科学与技术学报

发表期刊： 2004年2期

页码: 125-128,132

摘要：本论文研究了真空热蒸发制备的不同衬底温度下CdS薄膜的光学及电学性能.重点讨论了不同衬底温度下CdS薄膜的光透过性能、光学带隙及其和薄膜结构的关系.研究了CdS薄膜因高度定向生长而出现的薄膜...

真空科学与技术学报基本信息

刊名	真空科学与技术学报	主编	吴锦雷
曾用名	真空科学与技术
主办单位	中国真空学会	主管单位	中国科学技术协会
出版周期	月刊	语种	chi
ISSN	1672-7126	CN	11-5177/TB
邮编	100022	电子邮箱	vst@chinesevacuum.com
电话	010-58206280	网址
地址	北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室