真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 仲雪飞 屠彦 张雄 杨兰兰 樊兆雯 王保平
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  1-5
    摘要: 本文分析了荫罩式等离子体显示板(SMPDP)的优点和存在的不足,以提高PDP放电效率为目的 ,提出了非对称SMPDP结构.用宏单元实验研究的方法,比较了两种SMPDP的放电特性,确认 非对称...
  • 作者: 屠彦 张盼盼 杨兰兰
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  6-11
    摘要: 本文采用基于动力学模型的OOPIC仿真软件模拟具有不同扫描电极宽度和荫罩结构的荫罩式 等离子显示器(PDP)放电单元内的放电过程,分析单元内的条纹数量、分布状态和介质层表 面壁电荷分布情况,...
  • 作者: 吴朝兴 李昱 胡利勤 苏艺菁 郭太良
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  12-16
    摘要: 提出后栅型场发射显示器(FED)测试过程中的窜压现象,解释该现象的产生原因.阴极电极 侧壁场发射电子轰击栅极导致电压表示数发生变化.针对此问题设计一种具有沟槽状介质层 结构的后栅型FED从而...
  • 作者: 刘濮鲲 徐寿喜 杜朝海 王斌 耿志辉
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  17-22
    摘要: 该文研究并设计了一个由Vlasov阶梯型开口辐射器、椭圆面反射器和抛物面反射器组成的TE02模回旋管准光模式变换器.首先采用几何光学研究了阶梯型开口辐射器、椭圆面反射器和抛物面反射器的具体形...
  • 作者: 刘保亭 李晓红 李曼 杨林 王宽冒 赵冬月 赵庆勋 陈剑辉
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  23-26
    摘要: 以一种新的三元非晶化合物薄膜作为Cu互连的阻挡层,采用射频磁控溅射法构架了Cu(120 nm )/ Ni-Al-N(10 nm)/ Si 的异质结.利用四探针测试仪、X 射线衍射仪和原子力显...
  • 作者: 刘濮鲲 唐康淞 李实 肖刘 郝保良 黄明光
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  27-31
    摘要: 改进稳态行波管场论大信号互作用模型,将工作频率考虑为最小公因子基波的整数倍,采用 频域等效粒子模拟算法,求解离散化亥姆霍兹方程获得空间电荷场数值解,建立半解析半粒子的2.5维行波管多频互作用...
  • 作者: 孙立臣 王勇 黄锡宁
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  32-36
    摘要: 文中首先从理论上推导出检漏仪的入口压力与显示值的数学关系表达式,其次通过试验验证 了该表达式的正确性.与此同时,提出了一种测试检漏仪线性性能的新方法.研究结果表明 :检漏仪的入口压力与显示值...
  • 作者: 唐明 左桂忠 真空科学及壁处理组 胡建生
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  37-43
    摘要: 未来托卡马克聚变反应堆中,等离子体破裂放电会使器壁释放大量的吸附气体,对燃料恢复 、抽气系统设计、等离子密度控制等存在重要影响,在HT-7装置上破裂等离子体放电占总 放电次数的10%左右,因...
  • 作者: 孔令刚 李彦哲 范多旺 赵阳
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  44-49
    摘要: 阐述了在真空卷绕镀膜机中张力控制的必要性和复杂性.通过机理建模的方法建立了开卷区 张力控制模型,从中得出影响张力的相关因素,并提出了一种利用间接控制方式设计卷绕镀 膜机开卷张力控制系统的方法...
  • 作者: 凌桂龙 王文龙 蔡国飙
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  50-56
    摘要: 本文对单轴双销铰链式大门机构进行了有限元静态线性结构分析,得出该大门机构的应力场 和位移场分布,讨论了弧形加强覆板、前立柱和远端弹性支撑装置等对大门机构强度破坏和 位移变形的影响,并将分析讨...
  • 作者: 叶位彬 戴晋福 朱建明 黄光周
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  57-60
    摘要: 本文介绍作者自行设计的原子层沉积(ALD)实验系统和所沉积薄膜的检测结果.为了研究ALD技术,作者设计了一套试验性的ALD沉积系统.该系统主要由反 应腔、前驱体容器、真空泵、控制系统等部件构...
  • 作者: 兰惠清 加藤孝久 崔俊豪
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  61-66
    摘要: 以甲苯(C7H8)和四甲基硅烷(Si(CH3)4)的混合气体为反应气源,使用离子气相沉积 技术制备了不同Si含量(原子比)(不超过20%)的掺硅类金刚石(Si-DLC)薄膜,用X射线 光电子...
  • 作者: 唐德礼 杨作贵 杨发展 沈丽如 王世庆 金凡亚
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  67-70
    摘要: 采用直管磁过滤弧离子镀在304 不锈钢表面沉积CrN单一涂层和Cr/CrN复合涂层,分别运用X射线衍射仪、光学显微镜、显微硬 度计、摩擦磨损仪测试分析了其组成结构及复合涂层的表面机械性能.结...
  • 作者: 刘琪 林国强 王文涛
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  71-75
    摘要: 用电弧离子镀设备在一端封口的Φ50 mm×200 mm×5 mm不锈钢深管内壁上沉积TiN薄膜 ,镀膜前在管子上方布置一个0.4 T的永磁体,以考察附加磁场对深管内壁沉积TiN薄膜的影响.对...
  • 作者: 刘凡新 车晓舟 陈莲华 马洪涛
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  76-79
    摘要: 用真空阴极过滤电弧法沉积了厚度为2 nm的类金刚石(DLC)薄膜,研究了激光加热退火时 薄膜结构和表面粗糙度的变化,分析了激光加热功率对薄膜结构的影响.结果表明,当激光功率小于200 mW时...
  • 作者: 佟玉玲 刘兆政 刘耀辉 狄驰
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  80-84
    摘要: 本文通过使用Teer-UDP450磁控溅射设备制备CrAlTi(Ce)N薄膜,实验过程中改变偏压.使 用了原子力显微镜、X射线衍射仪对CrAlTi(Ce)N薄膜进行分析和研究.试验结果表明:...
  • 作者: 李丹明 王骥 田海 薛玉雄 贺德衍
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  85-88
    摘要: 本文在分析以氧化锌为颜料的S781热控白漆电子辐照作用机理的基础上,结合材料的辐照剂 量深度分布理论、材料对光子的吸收理论等,采用对材料分层解析的方法,建立了表达材料 光谱吸收率变化与电子辐...
  • 作者: 卢建丽 李健 柴燕华
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  89-94
    摘要: 真空蒸发制备Sb掺杂Sn2S3多晶薄膜.研究不同比例Sb掺杂对Sn2S3薄膜的电学、结 构、表面形貌、化学组分的影响,实验给出掺Sb5%薄膜经380℃热处理30 min可获得结构良好正交晶系...
  • 作者: 刘汉法 史晓菲 周爱萍 张化福 郭美霞
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  95-99
    摘要: 利用直流磁控溅射工艺,在石英玻璃衬底上沉积出了具有高度C轴择优取向的掺Ti氧化 锌(ZnO:Ti,TZO)透明导电薄膜.研究了衬底温度对TZO薄膜应力、结构和光电性能的影 响.结果表明,衬底...
  • 作者: 刘坤 巴德纯 张振厚 杨乃恒 王光玉
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  100-104
    摘要: 间隙设计是多级罗茨干泵设计的重要参数之一.在多级罗茨干泵运转时,间隙受转子和泵腔 热变形的影响较大.本文通过分析了多级罗茨干泵内部的传热过程,建立了工作过程的传热 模型.通过接触式和非接触式...
  • 作者: 冯焱 张涤新 李慧娟 肖祥正 薛大同
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  105-109
    摘要: 阐述了氦质谱背压检漏的特点及目前存在的问题,在此基础上提出了改进建议.深入探讨了 预充氦背压法测得的测量漏率与等效标准漏率的关系,指出预充氦背压法可用于检测压氦背 压法检测不到的小漏孔,给出...
  • 作者: 温永刚 王先荣 陈光奇
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  110-113
    摘要: 真空绝热板(VIP)的使用寿命是目前研究者和使用者最为关注的问题之一,如何有效保证 其在长期使用过程中依然保持高性能热阻需要进行理论和试验研究.本文通过材料选择制作 了VIP测试样板,对其热...
  • 作者: 何利文 向伟玮 张秋萍 文莉 曾洪江 褚家如
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  114-118
    摘要: 研究了一种应用于微放电器的聚酰亚胺绝缘材料的工艺及性能.分析了聚酰亚胺制备过程中 亚胺化程度以及图形化过程中反应离子刻蚀功率、气体流量、气体成分、清洗等因素对于薄 膜质量、刻蚀速率和残留物的...
  • 作者: 刘鹏 姜元霞 孙晨 朱绪飞 耿敏 蔡宇武 郑杰
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  119-123
    摘要: 分析了多孔阳极氧化铝(PAA)形成过程中,传统"酸性场致溶解"的电化学反应及其局限 性.同时,为验证氧气析出反应对PAA孔道产生和发展的影响,深入探讨PAA的形成机理,分 别对比了在真空、高...
  • 作者: 刘成 叶晓军 周丽华 安其 钱子勍 陈鸣波
    发表期刊: 2011年1期
    页码:  124-127
    摘要: 通过改变硅烷浓度,采用等离子体增强化学气相沉积方法制备了在有无金属屏蔽罩两种情况 下的系列微晶硅太阳电池,发现将金属屏蔽罩去除后,本征微晶硅材料的沉积速率提高约一 倍,微晶相至非晶相的硅烷浓...
  • 作者: 孙岩 孙彦铮 张岩松 李亚娜 杜丽平 贺庆辉
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  129-133
    摘要: 本文通过真空蒸镀法制备得到含银型高密度聚乙烯(HDPE)基抗菌复合膜(Ag2O/HDPE),利用原子力显微镜、扫描电子显微镜及原子吸收光谱法测试手段对膜进行了表征,并考察了复合膜的抗菌动力学...
  • 作者: 严谨 刘柯钊 姚文清 张川 张立武 朱永法 杨江荣 牟豪杰 鲜晓斌
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  134-137
    摘要: 通过直流磁控溅射法在单晶Si(100)基底上制备了Zr/Nb/Si薄膜材料.X射线衍射(XRD)研究表明Zr薄膜以多晶形式存在,而Nb薄膜则形成了(110)晶面择优生长.薄膜中Zr和Nb晶粒...
  • 作者: A.Bogaerts 吕晓丹 宁建平 秦尤敏 苟富均 贺平逆 赵成利
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  138-143
    摘要: 本文使用分子动力学方法模拟低能CH与碳氢薄膜的相互作用,以探讨在核聚变过程中CH的再沉积行为及对面向等离子体材料性质变化的影响.选择的入射能量分别为0.3,1,5,10 eV.模拟结果表明随...
  • 作者: 姚宁 崔娜娜 张兵临 王英俭 穆慧慧 葛亚爽 邢宏伟
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  144-148
    摘要: 采用直流磁控溅射法制备ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜,薄膜电阻率为5.3×10-4Ω·cm,可见光区平均透过率大于85%.采用施加缓冲层的方法,在AZO和NPB之间加入一层Al2O3绝缘...
  • 作者: 徐文慧 杨旭 王光伟 郑宏兴
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  149-153
    摘要: 在分析理想金属/半导体肖特基接触的基础上,概述了一般情形下肖特基接触的形成机理和影响因素.金属/半导体间的界面层使得肖特基势垒高度(SBH)对功函数的依赖减弱,也导致SBH与外加偏压有关.研...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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