真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 徐滨士 王海斗 马国政
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  154-158
    摘要: 为了探索软金属铟在真空环境中的润滑性能,用电刷镀技术在45#钢表面制备了In/Ni复合固体润滑涂层,并对比研究了该复合镀层在大气环境、低真空环境和高真空环境下的摩擦学性能和磨损机制.结果表明...
  • 作者: 张瑞 王勇 阮望 韩慧鹏
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  159-162
    摘要: 提出了一种采用散射参数S21曲线来计算速调管双耦合孔输出腔外观品质因数的方法.首先借助仿真软件CSTMWS模拟计算了 Toshiba 研制的速调管(E3736)的具有双耦合孔输出腔的外观品质...
  • 作者: 徐宝强 戴永年 朱富龙 杨斌 袁海滨 郁青春
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  163-168
    摘要: 在中真空条件(18~50Pa)下,从原子碰撞与碰撞凝聚的角度分析系统温度、铝分压及冷凝区温度梯度对铝蒸气相变形核及冷凝的影响.采用真空蒸发冷凝法(不充入惰性气体)制备出铝珠及铝粉,并利用扫描...
  • 作者: 张建超 汪曣 赵学玒 黄超
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  169-173
    摘要: 本文首先利用离子光学模拟软件SIMION7.0,对自制的电子轰击离子源(EI)进行模拟试验,获得离子在EI内的运动参数,包括位置、速度.随后,利用相空间方法,分析EI各参数对其性能的影响,包...
  • 作者: 孙海林 徐雪波 熊学慧 鲍明东
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  174-177
    摘要: 应用闭合磁场非平衡磁控溅射离子镀技术,制备了不同Ti含量的MoS2合金减摩镀层,研究了添加元素Ti含量对镀层厚度、硬度、摩擦系数等的影响规律.结果表明MoS2合金减摩镀层的厚度与添加元素Ti...
  • 作者: 杜昊 肖金泉 邓宏贵 闻火 闻立时 黄荣芳 黄香平
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  178-182
    摘要: 在单晶si(100)基体上利用电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积法制备硅薄膜,并采用X射线衍射谱(XRD)、透射电镜(TEM)、Raman光谱、电子自旋共振(ESR)波谱等实验方法研究了不...
  • 作者: 刘汉法 张化福 王振环
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  183-186
    摘要: 利用直流磁控溅射法,在室温水冷玻璃衬底上成功制备出了可见光透过率高、电阻率低的钛镓共掺杂氧化锌(TGZO)透明导电薄膜.X射线衍射和扫描电子显微镜研究结果表明,TGZO薄膜为六角纤锌矿结构的...
  • 作者: 姜辉 娄晓钟 张红霞 李西兵 王世刚 石志民 郭建华
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  187-193
    摘要: 目前微电子与光电子芯片对散热要求日益增高,烧结式微热管已经成为其理想的散热元件,对微热管进行快速抽真空,使微热管中的工质量与真空度符合要求,是决定其制造质量与成本的重要因素.通过对微热管的工...
  • 作者: 李家胤 武新慧 赵晓云
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  194-200
    摘要: 潘尼管是利用电子在高频结构中的位置选择机制实现注波净能量交换的回旋器件,具有高效率与低磁场的显著特点.本文在简述其基本原理的基础上,研究了其设计理论与方法,进行了相应的数值计算,设计了一只8...
  • 作者: 张伟 李廷举 殷国茂 金文中
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  201-207
    摘要: 使用X射线衍射分析仪、扫描电镜、电子拉伸试验机、高温金相显微镜研究了在模壳内壁表面的涂层中添加孕育剂铝酸钴和在真空熔铸过程中施加工频旋转电磁搅拌对K417高温合金真空精密铸件凝固组织和性能的...
  • 作者: 白国云 胡茂中
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  208-211
    摘要: 为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题,开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验.实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器,在容器内的氦气浓度为0.5‰,1‰,3‰,5‰时分别实测了...
  • 作者: 王娜 王建力 王梨兵 肖琼
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  212-215
    摘要: BEPCⅡ真空内扭摆磁铁的波纹管在电子束流的高流强运行中发生了损伤和真空泄漏.对损伤原因进行了分析,怀疑是波纹管RF屏蔽结构的弹簧片与接触套之间存在间隙,导致了高次模泄漏.如果波纹管没有压缩...
  • 作者: 李冠群 李戈扬 李玉阁 沈洁
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  216-220
    摘要: 采用碳化钒靶的磁控溅射方法在不同的Ar气压下制备了一系列碳化钒薄膜,利用能量分析光谱仪,X射线衍射,扫描电子显微镜,原子力显微镜和微力学探针研究了气压对薄膜成分、相组成、微结构以及力学性能的...
  • 作者: 孙宝玉 岳向吉 巴德纯 房也 杨彬 段永利
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  221-224
    摘要: 用直流磁控溅射工艺,在NdFeB磁体表面镀Al薄膜,并对镀Al薄膜的磁体进行真空热处理,研究工艺、温度和时间对镀层成分、组织和性能的影响.结果表明:NdFeB镀Al薄膜磁体经650℃,10m...
  • 作者: 卢盛辉 周伟 夏建新 杜江锋
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  225-228
    摘要: 通过化简复杂非线性的费米能级EF与二维电子气密度ns关系,并利用化简后函数的一阶泰勒多项式建立了线性化AlGaN/GaN HEMT中EF与ns关系的解析模型.该模型可以根据二维电子气密度ns...
  • 作者: 刘军 张世伟
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  229-233
    摘要: 传统的鹿茸干燥工艺中包含煮炸、烘烤、日晒等加热处理步骤,会造成鹿茸中营养物质的流失及其生物活性的破坏.冷冻真空干燥是能够保持鹿茸中营养成分活性的先进干燥工艺.本文详细介绍了鹿茸片和整枝鹿茸的...
  • 作者: 成永军 李得天
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  234-236
    摘要: 本文简要阐述了非蒸散型吸气剂(NEG)泵的吸气机理,着重介绍了NEG泵在超高/极高真空标准、静态膨胀法真空标准等真空计量标准中的最新应用结果.结果表明:利用NEG泵在室温下获得了10-10m...
  • 作者: 孙奉娄 钟志有 顾锦华
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  237-241
    摘要: 采用射频氧等离子体(RFOP)处理对氧化铟锡(ITO)薄膜表面进行改性,通过原子力显微镜、X射线光电子能谱、X射线衍射仪和接触角仪等测试表征,研究了改性对ITO表面性质的影响.实验结果表明,...
  • 作者: 刘天伟 吴艳萍 唐凯 朱生发 江帆 魏强 黄河
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  242-246
    摘要: 利用Gibbs自由能判据计算了室温和1000 K温度下Ti-Al体系非晶形成成分区间.计算结果表明,Ti-Al非晶形成区间为10%~80%(原子比)Ti.在计算结果的指导下,设计薄膜的成分区...
  • 作者: 朱晓文 胡庆生 许铁军 谢韩 赵君煜 陈长琦
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  247-251
    摘要: 水平诊断窗口位于ITER装置主机水平窗口,用于容纳各项等离子体诊断设备,需要满足水冷、电磁和射线屏蔽等功能的技术要求.基于结构可靠性与加工可行性设计了水平诊断窗口冷却回路,并采用FLUENT...
  • 作者:
    发表期刊: 2011年2期
    页码:  252
    摘要:
  • 作者: 刘红飞 张伟 张志萍 程晓农 陈小兵
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  253-257
    摘要: 采用ZiW2O8 陶瓷靶材,以射频磁控溅射法在单晶硅基片上沉积制备了ZrW2O8薄膜.用X射线衍射仪和热膨胀仪分析了靶材的成分和热膨胀性能;用X射线光电子能谱仪和扫描电子显微镜分析了薄膜的组...
  • 作者: 吴朝兴 李昱 翁卫祥 袁军林 贾贞 郭太良
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  258-261
    摘要: 随着分辨率的提高,传统金属电极在电阻率和抗氧化性能方面已经不适合作为需要高温热处理的场致发射显示器件中的薄膜电极.本文采用5.77%(原子比)Sn掺杂的ZnO∶Sn作为Ag层的保护层,利用磁...
  • 作者: 徐均琪 惠迎雪 梁海锋 苏俊宏
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  262-266
    摘要: 采用热蒸发及离子束辅助沉积技术制备了单层ZnS薄膜,研究了Si、Ge、K9及石英玻璃基材对薄膜沉积速率及光学特性的影响.采用椭偏法拟合了薄膜的厚度和折射率,分析了不同基材上沉积薄膜的色散特性...
  • 作者: 丁建宁 何宇亮 王权 胡然
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  267-271
    摘要: 用等离子体增强化学汽相沉积(PECVD)法,在玻璃和单晶si衬底上分别制备了氢化纳米硅薄膜,对在相同工艺条件下的薄膜进行了对比研究,即用Baman散射谱研究了薄膜的晶粒平均大小和晶态比;用台...
  • 作者: 周继承 张治超 彭银桥
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  272-277
    摘要: 采用C2H2和N2作为反应气体、多晶Si作为靶材,利用射频磁控溅射系统沉积了SiCN薄膜.利用傅里叶红外光谱仪、X射线衍射仪、四探针测试仪等研究了C2H2流量对薄膜结构、介电常数以及阻挡性能...
  • 作者: 姚宁 崔娜娜 常立红 张兵临 王英俭 葛亚爽 邢宏伟 韩昌报
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  278-282
    摘要: 采用磁控溅射(DMS)和能量过滤磁控溅射(EFDMS)技术在玻璃衬底上制备ITO透明导电薄膜.利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射、紫外-可见分光光度计、四探针电阻仪、椭偏光谱仪等对...
  • 作者: 梁艳 郜小勇 马姣民
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  283-286
    摘要: 利用射频磁控溅射技术,通过调节溅射功率(P)在200℃、氧氩比为2:3条件下在玻璃衬底上制备了一系列氧化银(Ag2O)薄膜.利用X射线衍射谱和扫描电子显微镜重点研究了P对Ag2O薄膜微结构的...
  • 作者: 左敦稳 褚向前
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  287-291
    摘要: 通过化学气沉积过程中掺B,制备的金刚石膜电阻率下降10-19,导致金刚石膜整体导电,可采用电火花抛光.用扫描电镜和Raman分析了金刚石膜电加工表面的形貌和成分.金刚石膜的电火花抛光是多种效...
  • 作者: 孙海涛 方彬 李成武 林贤 潘孝仁 王艳南 陆慧
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  292-296
    摘要: 以气体放电活化反应蒸发(GDARE)沉积法通过多次沉积制备不同厚度ZnO薄膜.原子力显微镜和X射线衍射测试分析表明,所得ZnO薄膜具有纳米颗粒多晶结构,粒径在30~70 nm,晶粒尺寸随薄膜...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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