低充氦浓度氦质谱检漏技术应用研究

• 作者: 白国云 胡茂中
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氦质谱检漏 低浓度 检漏灵敏度 内置氦源
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 208-211
• 分类号: TB774
• 字数: 2269字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2011.02.16

摘要

为解决不允许抽真空和充压的密封装置的密封性能检测问题,开展了较低充氦浓度的氦质谱检漏模拟实验.实验采用通道型标准漏孔和模拟密封容器,在容器内的氦气浓度为0.5‰,1‰,3‰,5‰时分别实测了混合气体中氦气通过漏孔的漏率,基于混合气体以同种比分通过分子流漏孔的假设,不同浓度下测得的漏率结果与理论计算相比较;实验得出了在一定体积的空间内定点释放少量的氦气自由扩散至基本均匀分布所需时间.在实验的基础上,专门设计低充氦浓度检漏的标定装置,可降低因标准漏孔的氦浓度与检漏充氦浓度相差较大而引入检漏结果的不确定度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡茂中		5	29	3.0	5.0
2	白国云		12	52	3.0	6.0