氦质谱细检漏国军标的修改方案

• 作者: 李飞 王庚林 王彩义 王莉研 董立军
• 来源期刊: 电子产品可靠性与环境试验
• 关键词: 氦质谱 细检漏 国军标 修改方案
• 年，卷（期）: 2009,（z1）
• 页码范围: 21-32
• 页数: 12页
• 分类号: TN3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5468.2009.z1.005

摘要

以前期研究成果为基础,计算分析了国际电工委员会标准和我国国家标准中密封严酷度分级的氦质谱细检漏测量漏率判据,提出了进行密封严密度分级的国军标修改方案及相关因素的处置方法.