标准中氦质谱检漏试验判据的研究

• 作者: 金毓铨
• 来源期刊: 电子产品可靠性与环境试验
• 关键词: 军用标准 密封 气密性 氮质谱检漏 灵活方法
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 专家论坛
• 页码范围: 1-3
• 分类号: T-651|TB774
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5468.2011.03.001

摘要

通过计算,指出美国军用标准MIL-ST0-750E<半导体器件试验方法>的方法1071.8中的氨质谱检漏的固定方法和灵活方法判据的宽严程度有明显的差异,多数情况下超过一个数量级.建议在参考此类标准和执行类似标准时应加以注意.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金毓铨	中国电子科技集团公司第五十五研究所	4	11	2.0	3.0