元器件氦质谱检漏失效判据的分析

• 作者: 王晓敏 王淑杰
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氦质谱检漏 固定法 灵活法 漏率 封装
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 微电子、微系统与物理电子学
• 页码范围: 481-485
• 页数: 5页
• 分类号: TN307|TB774+.3
• 字数: 3374字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201603.0481

摘要

比较了现行国军标中氦质谱检漏固定法与灵活法标准判据，在相同条件下，2种方法的判据有数量级上的差别。相同内腔体积的半导体分立器件、电子及电气元件和微电子器件，由于器件种类不同，封装、工艺等不同，细检漏的判据仍然存在较大差别。分析了美军标中氦质谱检漏标准判据，指出国军标和美军标氦质谱检漏标准判据存在一定的不适用性，建议元器件氦质谱检漏的标准判据应进一步改进。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王淑杰	中国工程物理研究院计量测试中心	10	15	3.0	3.0
2	王晓敏	中国工程物理研究院计量测试中心	20	40	3.0	5.0