真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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19905
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  • 作者: 刘红飞 张伟 张志萍 程晓农 陈小兵
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  253-257
    摘要: 采用ZiW2O8 陶瓷靶材,以射频磁控溅射法在单晶硅基片上沉积制备了ZrW2O8薄膜.用X射线衍射仪和热膨胀仪分析了靶材的成分和热膨胀性能;用X射线光电子能谱仪和扫描电子显微镜分析了薄膜的组...
  • 作者: 吴朝兴 李昱 翁卫祥 袁军林 贾贞 郭太良
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  258-261
    摘要: 随着分辨率的提高,传统金属电极在电阻率和抗氧化性能方面已经不适合作为需要高温热处理的场致发射显示器件中的薄膜电极.本文采用5.77%(原子比)Sn掺杂的ZnO∶Sn作为Ag层的保护层,利用磁...
  • 作者: 徐均琪 惠迎雪 梁海锋 苏俊宏
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  262-266
    摘要: 采用热蒸发及离子束辅助沉积技术制备了单层ZnS薄膜,研究了Si、Ge、K9及石英玻璃基材对薄膜沉积速率及光学特性的影响.采用椭偏法拟合了薄膜的厚度和折射率,分析了不同基材上沉积薄膜的色散特性...
  • 作者: 丁建宁 何宇亮 王权 胡然
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  267-271
    摘要: 用等离子体增强化学汽相沉积(PECVD)法,在玻璃和单晶si衬底上分别制备了氢化纳米硅薄膜,对在相同工艺条件下的薄膜进行了对比研究,即用Baman散射谱研究了薄膜的晶粒平均大小和晶态比;用台...
  • 作者: 周继承 张治超 彭银桥
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  272-277
    摘要: 采用C2H2和N2作为反应气体、多晶Si作为靶材,利用射频磁控溅射系统沉积了SiCN薄膜.利用傅里叶红外光谱仪、X射线衍射仪、四探针测试仪等研究了C2H2流量对薄膜结构、介电常数以及阻挡性能...
  • 作者: 姚宁 崔娜娜 常立红 张兵临 王英俭 葛亚爽 邢宏伟 韩昌报
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  278-282
    摘要: 采用磁控溅射(DMS)和能量过滤磁控溅射(EFDMS)技术在玻璃衬底上制备ITO透明导电薄膜.利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射、紫外-可见分光光度计、四探针电阻仪、椭偏光谱仪等对...
  • 作者: 梁艳 郜小勇 马姣民
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  283-286
    摘要: 利用射频磁控溅射技术,通过调节溅射功率(P)在200℃、氧氩比为2:3条件下在玻璃衬底上制备了一系列氧化银(Ag2O)薄膜.利用X射线衍射谱和扫描电子显微镜重点研究了P对Ag2O薄膜微结构的...
  • 作者: 左敦稳 褚向前
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  287-291
    摘要: 通过化学气沉积过程中掺B,制备的金刚石膜电阻率下降10-19,导致金刚石膜整体导电,可采用电火花抛光.用扫描电镜和Raman分析了金刚石膜电加工表面的形貌和成分.金刚石膜的电火花抛光是多种效...
  • 作者: 孙海涛 方彬 李成武 林贤 潘孝仁 王艳南 陆慧
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  292-296
    摘要: 以气体放电活化反应蒸发(GDARE)沉积法通过多次沉积制备不同厚度ZnO薄膜.原子力显微镜和X射线衍射测试分析表明,所得ZnO薄膜具有纳米颗粒多晶结构,粒径在30~70 nm,晶粒尺寸随薄膜...
  • 作者: 李天明 李家胤 武新慧 胡标 赵晓云
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  297-304
    摘要: 利用自洽非线性理论研究了8mm3次回旋谐波开槽潘尼管注波互作用.首先,明确地揭示了在高次回旋谐波开槽潘尼管中,电子回旋谐波次数,高频场分布.决定了不同初始相位电子的电子能量分布以及引导中心漂...
  • 作者: 丘泰 唐志兰 李志顺 沈春英
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  305-308
    摘要: 采用高温固相反应法合成钡钨阴极用411铝酸盐,研究了在湿空气中放置前后铝酸盐的稳定性、与钨基的浸渍情况、物相的变化和阴极的发射性能.结果表明:在湿空气中放置的411铝酸盐,增重大于9%,与钨...
  • 作者: 刘纯亮 刘震 孙永魁 胡文波
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  309-313
    摘要: 为了提高无汞平面光源的发光效率和避免放电收缩,本文设计并制作了一种新型的具有弧形电极结构的12寸无汞平面光源,基于该新型结构光源,对不同气压下Ne+Xe(10%),Ne+Xe(15%),Ne...
  • 作者: 吴忠 张雄 杨诚 樊兆雯 阮桂符
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  314-319
    摘要: 荫罩式等离子体显示器(SMPDP)是一种由金属荫罩板代替传统绝缘障壁的新型PDP.本文以42寸SMPDP为实验平台,提出了两种基于CLEAR驱动原理的新型驱动波形:窄脉冲擦除寻址波形、维持斜...
  • 作者: 吕晓丹 宁建平 秦尤敏 苟富均 贺平逆 赵成利
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  320-325
    摘要: 使用分子动力学方法模拟了低能H原子与碳氢薄膜的作用过程,以了解基于核聚变装置中等离子体与C基材料的相互作用机制.模拟中使用REBO(reactive empirical bond order...
  • 作者: 张人佶 李兆光 杨宇 王浪平
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  326-329
    摘要: 研究了氮等离子体浸没离子注入(PⅢ)技术处理后空间飞轮轴承内圈的摩擦学性能.通过原子力显微镜分析改性前后试样表面形貌,利用X射线电子能谱分析试样表面成分及结构,通过显微硬度计测量改性前后及不...
  • 作者: 况亚伟 屠彦 张雄 朱笛 李青 杨兰兰 樊兆雯 王保平
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  330-335
    摘要: 本文使用7英寸荫罩式等离子体显示器(SM-PDP)的实验小屏,在真空系统上动态地改变混合气体中Xe浓度和气.体压强,测量了着火电压、发射光光强、电子温度、电流、亮度和效率等参数,并分析了混合...
  • 作者: 徐宝强 戴永年 时圣店 杨斌 熊恒
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  336-340
    摘要: 借助激光粒度分析仪、扫描电镜、辉光放电质谱仪和X射线衍射仪等手段研究了真空蒸发冷凝制备超细Cu粉的方法及规律.实验表明,金属Cu的蒸发速率受蒸发温度和真空度的影响较大,所得Cu粉为面心立方晶...
  • 作者: 刘大春 徐宝强 戴永年 曲涛 杨斌 裴红彬
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  341-347
    摘要: 元江高镁低品位红土Ni矿开发利用的关键在于提取Ni的同时,重视金属Mg等金属的综合回收利用.本文针对真空碳热还原红土Ni矿脱除金属Mg的过程进行了研究,探索处理元江红土镍矿的新工艺.借助XR...
  • 作者: 刘清友 江仲英 薛屺 黄本生
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  348-351
    摘要: 油气田开发过程中的井下腐蚀严重,由于腐蚀失效引起的损失极大地增加了油气田开发的成本.金属陶瓷具有很好的抗腐蚀性能,因此选择化学气相沉积(CVD)陶瓷复膜技术对井下工具进行表面处理以提高其抗腐...
  • 作者: 孙大林 莫晓亮 郑凯波 陈国荣 顾磊磊
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  352-356
    摘要: 采用水热法在Au/Ni叉指电极上原位生长出整齐的ZnO纳米线阵列.纳米线的平均直径和长度分别为50 nm和5μm,且沿[0001]方向高度择优生长.测试了基于纳米线阵列的湿敏器件对不同湿度电...
  • 作者: 巩春志 朱宗涛 杨士勤 田修波
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  357-361
    摘要: 研制的用于等离子体浸没离子注入(PⅢ)的电源系统采用高压隔离与高频滤波技术,将40 kV高压脉冲电源与13.56 MHz射频电源直接耦合,由单一输出电缆连接到实验靶台上,通过射频与高压脉冲的...
  • 作者: 李德才 邢斐斐
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  362-367
    摘要: 为了解决真空镀膜机双轴密封问题,对真空镀膜机双轴采用磁性液体密封,设计了磁性液体密封整体结构、密封极齿和永久磁铁.分析了双轴磁性液体密封的设计.还使用Ansys软件计算了双轴磁性液体密封的磁...
  • 作者: 侯生军 张军辉 杨伟顺 杨晓天 罗成 胡振军 蒙峻 赵玉刚 郭迪舟
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  368-371
    摘要: 采用双通道(SPP)方法对不锈钢材料在高温条件下真空出气性能进行研究.该方法能将传统动态法中真空测量元件对被测量材料出气速率的影响消除,提高测量精度;并通过SPP结构,在数据处理过程中只采用...
  • 作者: 刘伟波 李明娟
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  372-375
    摘要: 为了研究强流脉冲离子束(IPIB)辐照在钛合金表面造成的损伤效应,利用IPB在低、中、高三种能流密度下对钛合金表面进行了轰击.通过金相显微镜和扫描电子显微镜对离子束诱发的表面形貌进行了分析....
  • 作者: 吕晓丹 宁建平 秦尤敏 苟富均 贺平逆 赵成利
    发表期刊: 2011年3期
    页码:  376-380
    摘要: 采用分子动力学模拟方法研究了入射能量对SiF2与SiC样品表面相互作用的影响.本次模拟选择的人射初始能量分别为0.3,1,5,10和25 eV.模拟结果显示SiF2分解率与Si和F原子的沉积...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
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ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
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真空科学与技术学报统计分析

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