真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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19905
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  • 作者: 于光龙 李昱 翁卫祥 贾贞 郭太良
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  381-385
    摘要: 采用直流磁控溅射技术和光刻工艺制备了Cr/Cu/Ag/Cu/Cr复合薄膜及其电极,研究不同温度热处理对复合薄膜和电极结构、表面形貌和电性能的影响.Ag层与最外层的Cr层之间的Cu层不仅增强了...
  • 作者: 史成武 孔明光 李丽丽 李兵 梁齐
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  386-392
    摘要: 利用脉冲激光沉积法在玻璃衬底上制备SnS薄膜,研究了SnS薄膜的晶体结构、表面形貌以及有关光学特性.所制备的SnS薄膜样品为斜方晶系多晶结构,在(111)晶面上有很强的择优取向性;衬底温度在...
  • 作者: 吕建国 夏齐萍 孙兆奇 宋学萍 汪小小
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  393-396
    摘要: 在室温下,利用射频磁控反应溅射法分别在硅片和石英玻璃上制备ZnO薄膜.通过控制O2/Ar流量比,研究O2/Ar流量比对ZnO薄膜的微结构、表面形貌及其光致发光特性的影响.X射线衍射仪和原子力...
  • 作者: 杜晓睛 田健 钟广明
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  397-401
    摘要: 研究了透射式GaN光电阴极在正面光照和背面光照两种工作模式下的光电发射特性差异及影响因素,并推导了这两种工作模式下的量子效率理论公式,利用所推导的公式对实验获得的GaN光电阴极量子效率曲线进...
  • 作者: 佟宇 弥谦 梁海锋 王菁 郭天文
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  402-405
    摘要: 纯钛铸件进行等离子渗氮、脉冲真空电弧离子镀TiN薄膜复合处理后,扫描电镜观察表面形貌,显微硬度仪测量硬度,球盘磨擦实验评估耐磨性.结果显示钛铸件渗氮、TiN镀膜复合处理后,表面呈现均匀明亮的...
  • 作者: 刘濮鲲 易红霞 李飞 肖刘 郝保良
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  406-412
    摘要: 应用Pierce小信号理论,对设计高效率宽带行波管的一般方法进行分析,采用螺距跳变渐变技术,形成了相速减少和相速增加两段结合的输出段作为宽带行波管的慢波结构,并采用散热性能好的半金属化夹持杆...
  • 作者: 张瑞 王勇 韩慧鹏
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  413-418
    摘要: 针对工作在TM310模的同轴谐振腔提出了一种通过在腔中设置重入式金属环来增大工作模式与邻近杂模频率间隔,进而实现杂模抑制的方法.通过等效电路法研究了金属环设置前后工作模式及其邻近模式频率变化...
  • 作者: 丁桂甫 刘启发 汪红 王艳
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  419-423
    摘要: 提出用铝取代银作为寻址电极,氧化铝取代玻璃粉作为其上介质层的新型等离子体显示器(PDP)电极单元,对单项工艺进行了优化,并形成了完整可行的整体工艺路线,有望为PDP生产成本的降低提供一条新的...
  • 作者: 刘濮鲲 刘燕文 张连正 陆玉新 韩勇
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  424-434
    摘要: 螺旋线行波管具有宽频带、高增益和高功率等优点,当今被大量应用于卫星通信系统、电子对抗系统和雷达系统.慢波组件是螺旋线行波管的关键组成部分,它的性能优劣直接决定着整管水平.慢波组件的散热性能不...
  • 作者: 冯焱 张涤新 成永军 李得天 郭美如
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  435-439
    摘要: 介绍了固定流导法极小气体流量测量技术,利用流导值为10-9 m3/s量级的精密小孔,通过在10-1~10 Pa范围内调节进气压力,实现了10-8~ 10-10 Pa·m3/s的流量测量,合成...
  • 作者: 刘智民 宋士花 汪根生 陈长琦
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  440-443
    摘要: 中性束注入(NBI)加热被国际聚变界公认为最有效的加热手段,其离子源源头电源控制系统的研制是中性束注入器的关键技术之一.通过研究高电压、高磁场环境对控制系统的影响,综合系统灵活性、易维护性、...
  • 作者: 刘晓波 张建润 李普 王新华
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  444-448
    摘要: 真空搅拌脱泡是高粘度液体的一种有效脱泡方式.对于高粘度液体中的气泡,单靠自身的浮力上升,其速度是极其缓慢的,搅拌槽内生成的气泡主要依靠搅拌被带到近液面而逸出.建立了搅拌流场中的气泡运动方程,...
  • 作者: 刘宝新 孙猛 徐法俭 雷春栋
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  449-452
    摘要: 给出了水环真空泵能效值的3种表示方法和计算公式,分析了能效考核点的确定方法.通过比较研究,提出了水环真空泵产品的能效评价方法及判定体系:采用单位功率的抽气量表示水环真空泵的能效,依据水环真空...
  • 作者: 刘孟寅 张帅 李德军 王晖 王海媛 薛凤英 颜景岳 龚杰
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  453-458
    摘要: 利用射频磁控溅射技术在不同工作气压和不同基底偏压条件下在Si(100)基底上设计合成了ZrB2/AIN纳米多层膜.利用X射线衍射、扫描电子显微镜、纳米力学测试系统和表面轮廓仪分析了工作气压和...
  • 作者: 吴忠振 巩春志 杨士勤 王泽明 田修波
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  459-464
    摘要: 采用高功率脉冲磁控放电等离子体离子注入与沉积的方法在不锈钢基体上制备了高膜基结合力的CrN硬质薄膜,并研究了不同的Ar/N流量比对薄膜形貌、结构及性能的影响.采用扫描电子显微镜、X射线衍射对...
  • 作者: 冷健 卢维强 喻志农 张东璞 王华清 薛维
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  465-469
    摘要: 研究了离子能量在薄膜制备过程中对TiO2和SiO2薄膜应力的影响.用电子束蒸发的方法制备TiO2和SiO2薄膜,使用实验室自行设计制作的基于哈特曼传感器的薄膜应力仪在线监测TiO2和SiO2...
  • 作者: Ricky Fu 巩春志 杨士勤 汪志健 田修波
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  470-475
    摘要: 内表面改性近年日益受到人们重视.本文采用基于Graphic Processing Unit (GPU)的Particle-in-cell (PIC)模型对方形管内表面的离子注入动力学过程进行...
  • 作者: 曹政 李洪涛 杨波 焦栋茂 蒋百灵 郭维华
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  476-480
    摘要: 为揭示磁控溅射辉光放电等离子体参量对Si薄膜沉积过程的本质影响,采用Langmuir探针于不同的靶电流、靶基距和氢分压条件下对直流辉光放电等离子体进行了诊断,分析了直流辉光放电等离子体参量(...
  • 作者: 万军 王守国 许峰 贾向红 贾少霞
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  481-484
    摘要: 等离子引发磁膨胀技术被美国航空航天局推荐为最有工程应用价值的空间辐射主动防护技术.在该技术中,高密度等离子体发生器的设计是其中的关键技术之一.本文设计了一种高密度螺旋波等离子体发生器,采用1...
  • 作者: 徐宝强 戴永年 朱富龙 杨斌 袁海滨 郁青春
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  485-489
    摘要: 在中真空(15 ~100 Pa)、993~1723 K下,采用X射线衍射、扫描电镜及能谱仪等分析手段对Fe2O3在氧化铝碳热还原及氯化过程的行为以及Fe2O3的添加量对产物金属铝的直收率的影...
  • 作者: 刘永成 戴永年 李秋霞 杨斌 荆碧
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  490-494
    摘要: 热力学研究得出:当系统残余压力为100~10 Pa时,Si02与碳反应在1465~ 1353 K以上即可生成Si和CO;在1329~ 1225 K以上即可生成SiC和CO; Si02和还原剂...
  • 作者: 付亚波 刘宁 卢一平 李廷举 陈洁
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  495-499
    摘要: 对定向凝固结合电子束制备5N高纯铜进行了研究.首先采用真空感应熔炼4N(99.99%)阴极铜并进行定向凝固实验,然后利用电子束对定向凝固后的铸锭进行重熔精炼,利用辉光放电质谱仪进行成分分析....
  • 作者: 汪洪波 陈长琦 黄稳
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  500-504
    摘要: 针对真空磁控溅射射频电源阻抗匹配问题,设计射频L型阻抗匹配网络结构.在负载阻抗不同速率变化时,基于遗传算法优化反射系数指标,通过调节匹配网络中两个电容值以达到与射频源的阻抗匹配.大量仿真结果...
  • 作者: 代兵 李能文 王海民 王选伦 黄虹
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  505-509
    摘要: 从挤出吹塑中空工业制件壁厚不均匀原因分析出发,提出挤出吹塑成型中局部抽真空的方法,建立了抽真空系统.然后,通过挤出吹塑成型中局部抽真空工艺优化制件壁厚,使制件壁厚的方差由0.4739减小到0...
  • 作者: 刘德权 徐红兵 朱根良 王明建
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  510-513
    摘要: 与俄罗斯培林实验室共同研制的挤压切割弹丸注入器现已研制完成并安装在HL-2A装置上.该弹丸注入器一次能制备和发射40粒弹丸,注入频率高达30Hz,弹丸直径1.3 mm,长度1.3~1.7 m...
  • 作者:
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  后插1
    摘要:

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
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真空科学与技术学报统计分析

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