真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
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总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
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  • 作者: 吴忠振 巩春志 杨士勤 王泽明 田修波
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  459-464
    摘要: 采用高功率脉冲磁控放电等离子体离子注入与沉积的方法在不锈钢基体上制备了高膜基结合力的CrN硬质薄膜,并研究了不同的Ar/N流量比对薄膜形貌、结构及性能的影响.采用扫描电子显微镜、X射线衍射对...
  • 作者: 冷健 卢维强 喻志农 张东璞 王华清 薛维
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  465-469
    摘要: 研究了离子能量在薄膜制备过程中对TiO2和SiO2薄膜应力的影响.用电子束蒸发的方法制备TiO2和SiO2薄膜,使用实验室自行设计制作的基于哈特曼传感器的薄膜应力仪在线监测TiO2和SiO2...
  • 作者: Ricky Fu 巩春志 杨士勤 汪志健 田修波
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  470-475
    摘要: 内表面改性近年日益受到人们重视.本文采用基于Graphic Processing Unit (GPU)的Particle-in-cell (PIC)模型对方形管内表面的离子注入动力学过程进行...
  • 作者: 曹政 李洪涛 杨波 焦栋茂 蒋百灵 郭维华
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  476-480
    摘要: 为揭示磁控溅射辉光放电等离子体参量对Si薄膜沉积过程的本质影响,采用Langmuir探针于不同的靶电流、靶基距和氢分压条件下对直流辉光放电等离子体进行了诊断,分析了直流辉光放电等离子体参量(...
  • 作者: 万军 王守国 许峰 贾向红 贾少霞
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  481-484
    摘要: 等离子引发磁膨胀技术被美国航空航天局推荐为最有工程应用价值的空间辐射主动防护技术.在该技术中,高密度等离子体发生器的设计是其中的关键技术之一.本文设计了一种高密度螺旋波等离子体发生器,采用1...
  • 作者: 徐宝强 戴永年 朱富龙 杨斌 袁海滨 郁青春
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  485-489
    摘要: 在中真空(15 ~100 Pa)、993~1723 K下,采用X射线衍射、扫描电镜及能谱仪等分析手段对Fe2O3在氧化铝碳热还原及氯化过程的行为以及Fe2O3的添加量对产物金属铝的直收率的影...
  • 作者: 刘永成 戴永年 李秋霞 杨斌 荆碧
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  490-494
    摘要: 热力学研究得出:当系统残余压力为100~10 Pa时,Si02与碳反应在1465~ 1353 K以上即可生成Si和CO;在1329~ 1225 K以上即可生成SiC和CO; Si02和还原剂...
  • 作者: 付亚波 刘宁 卢一平 李廷举 陈洁
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  495-499
    摘要: 对定向凝固结合电子束制备5N高纯铜进行了研究.首先采用真空感应熔炼4N(99.99%)阴极铜并进行定向凝固实验,然后利用电子束对定向凝固后的铸锭进行重熔精炼,利用辉光放电质谱仪进行成分分析....
  • 作者: 汪洪波 陈长琦 黄稳
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  500-504
    摘要: 针对真空磁控溅射射频电源阻抗匹配问题,设计射频L型阻抗匹配网络结构.在负载阻抗不同速率变化时,基于遗传算法优化反射系数指标,通过调节匹配网络中两个电容值以达到与射频源的阻抗匹配.大量仿真结果...
  • 作者: 代兵 李能文 王海民 王选伦 黄虹
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  505-509
    摘要: 从挤出吹塑中空工业制件壁厚不均匀原因分析出发,提出挤出吹塑成型中局部抽真空的方法,建立了抽真空系统.然后,通过挤出吹塑成型中局部抽真空工艺优化制件壁厚,使制件壁厚的方差由0.4739减小到0...
  • 作者: 刘德权 徐红兵 朱根良 王明建
    发表期刊: 2011年4期
    页码:  510-513
    摘要: 与俄罗斯培林实验室共同研制的挤压切割弹丸注入器现已研制完成并安装在HL-2A装置上.该弹丸注入器一次能制备和发射40粒弹丸,注入频率高达30Hz,弹丸直径1.3 mm,长度1.3~1.7 m...
  • 作者: 刘纯亮 张小宁 梁志虎 蒋崛
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  515-520
    摘要: 为使显示器件所显示的肤色符合人们的喜好色,提出了一种基于喜好色,且具有权重调节因子的肤色增强方法.该方法首先通过心理学实验分析确定了肤色和喜好色在HSV色彩空间中的分布,得到肤色和喜好色在H...
  • 作者: Sang-HoonYoon Yong-SeogKim 况亚伟 张雄 朱笛 李青
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  521-525
    摘要: 研究了等离子显示器中Sc掺杂对MgO介质保护薄膜外逸电子发射性能的影响.测试出无掺杂和Sc掺杂MgO薄膜在不同温度条件下的外逸电子发射电流,并基于理论模型模拟计算外逸电子发射电流对比实验结果...
  • 作者: 巩春志 杨士勤 汪志健 王蓬 田修波
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  526-531
    摘要: 采用三维HC模型仿真研究了等离子体浸没离子注入过程中工件高度变化对鞘层扩展动力学和离子注入效果的影响.模拟结果表明,随着工件高度减小,中心水平截面内鞘层扩展速度明显下降,鞘层最终尺寸也明显减...
  • 作者: 刘薇 张涛 武东博 赵嘉功 陈洁
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  532-535
    摘要: 用于微波传感的辉光管存在着火电压高的问题.本文研究了针形电极在几种电极结构下的辉光放电着火电压,电极结构分别为2针、3针和4针.在本实验的氩气压0.5~2.5 kPa范围内,几种电极结构下着...
  • 作者: 张贵新 王新新 王赞基 王长全 董晋阳 邵明松
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  536-539
    摘要: 为了研究提高无极灯光效的方法,本文测量了无极灯启动阶段的电参数和发射光谱,分析了点灯后阻抗、Hg原子光谱强度、Ar原子光谱强度、等离子体参数和放电模式随时间的变化规律.结果表明,在启动阶段,...
  • 作者: 孙鸿 沟引宁 黄楠
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  540-544
    摘要: 为了改善人工关节的生物摩擦学性能,采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在Co-Cr-Mo合金基体表面制备了多层C/C膜.采用拉曼光谱对薄膜的结构进行了表征;利用原子力显微镜观察了多层C/C膜的...
  • 作者: 刘平 刘新宽 李伟 杨丽红 郑康培 陈小红 马凤仓
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  545-549
    摘要: 采用直流反应磁控溅射的方式,用AlCr合金靶,在高速钢(M2)上沉积CrAlN涂层.采用扫描电镜、X射线衍射、能谱和纳米压痕仪等分析和测量手段,系统研究了Ar/N2气流比、气压和基片温度等工...
  • 作者: 刘春明 孙少妮 巴德纯 王永 蔺增 韩清凯
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  550-554
    摘要: 本文用有限元分析的方法,对受法向和切向联合载荷作用下的无裂纹类金刚石(DLC)薄膜系统内部应力进行了模拟计算,分析了不同摩擦系数和膜厚比对于内部应力的影响,数值模拟结果表明:较大的摩擦系数可...
  • 作者: 曹萍 白越 高庆嘉 黄敦新
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  555-559
    摘要: 通过钢/类金刚石(DLC)薄膜摩擦副在干摩擦、4122油和L252脂润滑条件下的球—盘摩擦学试验,对比分析润滑条件、载荷、速度对DLC膜摩擦系数的影响,利用原子力显微镜分析膜层磨损性能,研究...
  • 作者: 司洪娟 徐滨士 王海斗 马国政
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  560-564
    摘要: 采用超音速等离子喷涂+低温离子渗硫技术在45#钢基体上制备了FeCrBSi/FeS复合涂层,考察了该复合涂层在大气、真空、原子氧辐照、紫外线辐照后的表面形貌、磨痕形貌及元素组成.利用真空摩擦...
  • 作者: 庄晓波 张善端 张豪俊 朱绍龙
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  565-569
    摘要: 提出了一种测量KrCl*准分子灯222nm辐射效率的辐射度学方法.KrC1*准分子灯为同轴结构,内管和外管的内,外径分别为14,16和37,40mm.灯中充有总气压为2×104 Pa的氯气(...
  • 作者: 刘斌 李斌斌 林龙 沈鸿烈 鲁林峰
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  570-573
    摘要: 通过射频反应磁控溅射方法在玻璃衬底上制备N掺杂的Cu2O薄膜,采用X射线衍射、分光光度计、X射线光电子能谱和霍尔效应等检测,研究了氮气掺杂对Cu2O薄膜性能的影响.结果表明:随着N原子的掺入...
  • 作者: 张晶晶 李冠群 李戈扬 祝新发 许辉
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  574-578
    摘要: 通过反应磁控溅射制备了一系列不同Si3N4层厚的HfC/Si3N4纳米多层膜,采用X射线光电子能谱、X射线衍射、扫描电子显微镜和微力学探针表征了多层膜的微结构、硬度与弹性模量,研究了Si3N...
  • 作者: 刘正堂 徐启远 李阳平 武倩
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  579-583
    摘要: 采用接触式紫外光刻和反应离子刻蚀工艺在ZnS衬底上制备二维亚波长结构抗反射表面.在优化的光刻工艺下,以CH4、H2及Ar的混合气体为刻蚀剂,研究了刻蚀工艺对刻蚀速率和刻蚀形貌的影响.结果表明...
  • 作者: 戴永年 曲涛 李志华 杨斌 邓勇 郁青春
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  584-588
    摘要: 焦煤的热解经历干燥阶段、胶质体阶段和焦炭生成三个阶段,第二阶段焦煤失重较多.常压条件下焦煤热解时固定炭损失较多,孔隙度随温度和时间的增加而增加,500℃热解30 min后胶质体数量较少,物料...
  • 作者: 张伟 李廷举 殷国茂 金文中
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  589-593
    摘要: 为了提高高温合金母合金锭的纯净度,本文提出了在高温合金真空熔铸的凝固过程施加旋转磁场的真空电磁净化技术.使用扫描电子显微镜和图像分析仪研究了K417高温合金母合金锭真空电磁净化技术的非金属夹...
  • 作者: 于文站 刘永成 戴永年 朱富龙 李艳 杨斌 郁青春
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  594-597
    摘要: 采用热力学分析及X射线衍射、扫描电子显微镜及能谱仪等方法与手段,系统研究了中真空条件下碳化铝与氯化铝的反应.通过热力学研究,在10~100 Pa,温度低于1773 K时,Al与C生成Al4C...
  • 作者: 于文站 刘永成 徐宝强 戴永年 朱富龙 杨斌 郁青春
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  598-602
    摘要: 采用热力学分析及X射线衍射(XRD)等方法与手段,研究了真空条件下氧化铝碳热还原—氯化法炼铝工艺中冷凝区碳化铝的形成原因.通过热力学研究,在10~100 Pa,温度低于973 K时,Al与C...
  • 作者: 廖显恒 李云 王其富 王小霞 赵青兰
    发表期刊: 2011年5期
    页码:  603-606
    摘要: 栅发射在栅控行波管及速调管中是较为普遍的现象,为了降低栅发射,通常采用高功函数金属作为栅极或在栅极表面沉积高功函数物质或沉积能与蒸散到栅极上的活性物质反应形成高功函数化合物的金属.本文直接采...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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