氦质谱背压检漏方法研究

• 作者: 冯焱 张涤新 李慧娟 肖祥正 薛大同
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氦质谱仪 泄漏检测 密闭器件 背压法 压氦 预充氦
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 105-109
• 分类号: TB774+.3
• 字数: 4655字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2011.01.21

摘要

阐述了氦质谱背压检漏的特点及目前存在的问题,在此基础上提出了改进建议.深入探讨了 预充氦背压法测得的测量漏率与等效标准漏率的关系,指出预充氦背压法可用于检测压氦背 压法检测不到的小漏孔,给出了等效标准漏率对测量漏率具有的双值均在分子流范围时的鉴别方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯焱	兰州物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室	51	463	12.0	17.0
2	李慧娟		10	72	5.0	8.0
3	张涤新	兰州物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室	62	468	12.0	17.0
4	肖祥正	兰州物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室	4	62	4.0	4.0
5	薛大同	兰州物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室	6	91	5.0	6.0