金属屏蔽罩对柔性衬底微晶硅太阳电池特性的影响

• 作者: 刘成 叶晓军 周丽华 安其 钱子勍 陈鸣波
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性衬底 屏蔽罩 微晶硅 非晶硅/微晶硅 叠层太阳电池
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 124-127
• 分类号: O484|TK514
• 字数: 2283字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2011.01.25

摘要

通过改变硅烷浓度,采用等离子体增强化学气相沉积方法制备了在有无金属屏蔽罩两种情况 下的系列微晶硅太阳电池,发现将金属屏蔽罩去除后,本征微晶硅材料的沉积速率提高约一 倍,微晶相至非晶相的硅烷浓度转变点有所变化.将沉积条件应用于不锈钢柔性衬底的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池,获得了9.28%(AM0,1353 W/m2)和11.26%(AM1.5,1000 W/m2)的光电转换效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘成		12	19	2.0	3.0
2	陈鸣波		23	344	9.0	18.0
3	叶晓军		10	18	2.0	3.0
4	钱子勍		9	8	1.0	1.0
5	周丽华		6	7	1.0	1.0
6	安其		4	12	2.0	3.0