晶体硅太阳电池的氮化硅表面钝化研究

• 作者: 于化丛 奚建平 杨宏 王鹤 胡宏勋 陈光德
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 太阳电池 表面钝化 SiNx:H 等离子增强化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2002,（6）
• 页码范围: 651-654
• 页数: 4页
• 分类号: TM914.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-987X.2002.06.026

摘要

为了提高晶体硅太阳电池的光电转换效率,研究了用等离子增强化学气相沉积(PECVD)的SiNx:H作为晶体硅太阳电池的表面钝化及减反射膜对电池性能的影响,并采用不同的工艺路线制备了不同类型的电池.实验发现:同SiNx:H比较,SiNx:H/SiO2双层光学减反射结构对晶体硅太阳电池能起到更加有效的表面钝化作用,提高了太阳电池的光电转换效率.基于界面物理,提出了一种新的能带模型,解释了用不同实验方法制作的晶体硅太阳电池性能的差异.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨宏	西安交通大学理学院	21	370	11.0	19.0
2	王鹤	西安交通大学理学院	19	251	9.0	15.0
3	陈光德	西安交通大学理学院	65	517	13.0	18.0
4	胡宏勋	上海交通大学太阳能研究所	11	594	7.0	11.0
5	于化丛	上海交通大学太阳能研究所	7	54	5.0	7.0
6	奚建平	上海交通大学太阳能研究所	5	39	4.0	5.0