离子束溅射沉积Co膜光学特性的尺寸效应研究

• 作者: 叶敏 易葵 范平 范正修 邵建达 齐红基
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 低维金属材料 尺寸效应 离子束溅射 光学特性
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 100-104
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3532字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2004.02.005

摘要

本文采用离子束溅射沉积了不同厚度的Co膜,利用Lambda-900分光光度计,对不同厚度的Co膜从波长为310nm到1300nm范围测量了薄膜的反射率和透射率.选定波长为310、350、400、430、550、632、800、1200nm时对薄膜的反射率、透射率和吸收率随薄膜厚度变化的关系进行讨论.实验结果显示,Co膜的光学特性都有明显的尺寸效应.对在可见光范围内同一波长时的反射率和透射率随薄膜厚度变化关系的实验结果作于同一图上,发现反射率曲线与透射率曲线都有一个处在网状膜阶段的交点,这个交点对应的厚度作为特征厚度,该厚度可认为是金属薄膜生长从不连续膜进入连续膜的特征判据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光机所光学薄膜技术研发中心	212	2131	21.0	29.0
2	易葵	中国科学院上海光机所光学薄膜技术研发中心	67	518	14.0	18.0
3	范正修	中国科学院上海光机所光学薄膜技术研发中心	203	2312	23.0	32.0
4	齐红基	中国科学院上海光机所光学薄膜技术研发中心	40	299	11.0	16.0
5	范平	中国科学院上海光机所光学薄膜技术研发中心	14	136	8.0	11.0
9	叶敏	深圳大学理学院	1	11	1.0	1.0