磁控溅射法制备电磁屏蔽织物的研究

• 作者: 吕慎水 姚玉元 杜莉娟 陈文兴
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 直流磁控溅射 原子力显微镜 表面电阻 电磁屏蔽性能
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 264-268
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2762字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.03.020

摘要

本文采用直流磁控溅射在无纺布基底上溅射沉积金属铜来制备电磁屏蔽织物.通过原子力显微镜观察发现,工艺参数对溅射沉积速率以及膜层的表面形貌都有较大的影响.在一定范围内,溅射功率越大,沉积速率越大,膜层颗粒分布越均匀致密.溅射压力一般选取0.9 Pa左右为宜,在此压力下,溅射沉积速率最大.经测试膜层与基底结合牢度较好,溅射沉积铜后透气性变化较小.频谱分析仪测试结果表明织物的屏蔽性能十分优良.