射频磁控溅射法制备含银类钻碳薄膜的结构与性能

• 作者: 张雅珍 欧耿良 王翠凤 邱锡荣
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: Ag-DLC 溅射 抗菌能力
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 108-115
• 页数: 8页
• 分类号: O484
• 语种: 中文

摘要

为了明确银原子含量对含银的类钻碳类(diamond like carbon，DLC)薄膜抗菌率和薄膜性能的影响，改变溅射功率，采用射频磁控溅射法在玻璃基底上制备一系列不同 Ag 含量(原子分数，下同)的 Ag-DLC 薄膜。通过扫描电镜、拉曼光谱分析仪、透射电镜、X射线衍射仪、原子力显微镜等手段，研究Ag-DLC薄膜的C键结形态以及等对薄膜的特性与抗菌率等。结果表明，随溅射功率增加，薄膜厚度、薄膜中Ag含量以及D峰与G峰的积分强度比值ID/IG都增加。并且薄膜表面逐渐变得粗糙，薄膜的硬度和电阻率均下降。生物特性上，随溅射功率增加，薄膜对大肠杆菌(E.coli)表现出更加优良的抗菌性能。当溅射功率为200 W 时，薄膜中 Ag 的原子分数为19.77%，足以保证薄膜具有优良的抗菌性能，抗菌率达到98%。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王翠凤	福建信息职业技术学院机电工程系	28	87	5.0	7.0