ZnO:Al透明导电薄膜的研制

• 作者: 应春 杨锡良 沈杰 章壮健 陈华仙
• 来源期刊: 真空科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 掺铝氧化锌薄膜 反应蒸发 反应磁控溅射
• 年，卷（期）: 1998,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 125-129
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 3183字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.1998.02.007

摘要

介绍用直流平面磁控溅射方法制备掺铝的氧化锌透明导电薄膜并研究了其特性,阐述了金属氧化物透明导电薄膜研究的发展情况及其应用前景,并讨论了氧化锌掺铝薄膜的优点.介绍了ZnO:Al薄膜的制备情况:靶的制备及薄膜的制备过程.测量了薄膜的光电特性,包括透射比、折射率、消光系数、方块电阻、电阻率、载流子浓度和迁移率等参数,并分析了各种实验条件对薄膜性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈杰	复旦大学材料科学系	79	645	12.0	22.0
2	杨锡良	复旦大学材料科学系	22	512	13.0	22.0
3	章壮健	复旦大学材料科学系	41	667	16.0	24.0
4	陈华仙	复旦大学材料科学系	5	181	5.0	5.0
5	应春	复旦大学材料科学系	1	45	1.0	1.0