真空科学与技术学报期刊
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名: 真空科学与技术

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影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊,长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录,已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅,有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿,已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位:
中国真空学会
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
出版周期:
月刊
邮编:
100022
地址:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量(篇)
4084
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19905
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  • 作者: 俞学东 刘宇清 叶庆镛 姜景仁 宋风华 查良镇 窦德景 薛坤 郎人和 郭英占 陆家和
    发表期刊: 1998年4期
    页码:  239-246
    摘要: 根据对分压强质谱计需求的迅速增长和飞行时间质谱计的新发展,研制了一种新型小飞行时间质谱计.在质谱计管的长度仅为25cm,质量范围可达1~1800原子质量单位时,对28N2+和129Xe+的实...
  • 作者: 刘振祥 彭定敏 杜雪岩 王典芬 谢侃
    发表期刊: 1998年4期
    页码:  247-251
    摘要: 探讨了用硝酸亚铈通过溶胶-凝胶法制备CeO2薄膜的制备工艺.用X射线衍射和扫描电子显微镜分析了薄膜的显微形貌及其晶体结构,借助X射线光电子能谱研究了薄膜表面元素Ce的化学态.结果表明,用该方...
  • 作者: 封学民 张宏涛
    发表期刊: 1998年4期
    页码:  252-258
    摘要: 在组合法计算彩色显像管偏转系统的基础上,对25英寸700线彩色显像管所用偏转线圈进行了优化设计.选取荧光屏光栅结点上的像差作为优化目标函数,选取线圈调制极上绕线密度的傅里叶展开系数作为优化参...
  • 作者: 张晓兵
    发表期刊: 1998年4期
    页码:  259-265
    摘要: 高清晰度电视的发展对偏转系统的偏转灵敏度提出了更高的要求,应用带有磁极的偏转系统可以提高偏转灵敏度,多段式的磁极结构可以实现自会聚.对三段式的二十极多磁极偏转系统的计算机辅助设计方法进行了介...
  • 作者: 吕时良 张涤新 李得天 田东旭
    发表期刊: 1998年4期
    页码:  266-271
    摘要: 介绍了新研制的金属膨胀式真空计量标准及其起始压力和体积比的测量方法,讨论了实际气体特性、温度变化和气体吸附等干扰效应,分析了标准装置的不确定度(1σ).该标准的校准范围为105~10-4Pa...
  • 作者: 付秉相 李建平 王悦 韩泾鸿
    发表期刊: 1998年4期
    页码:  272-275
    摘要: 用RGTO方法制备多孔、颗粒状SnO2薄膜;根据SEM观察结果建立简单导电模型,并验证其导电机制主要是晶界导电;研究纯SnO2薄膜及掺杂SnO2薄膜对CO,乙醇等气体的气敏特性.掺Pt的薄膜...
  • 作者: 周明连 许淑惠 赵月罗 齐锡龄
    发表期刊: 1998年4期
    页码:  276-282
    摘要: 用变时间步长有限差分法对液状多孔制品在真空冷冻干燥过程中的Fick分子扩散传质时的升华问题进行了求解,理论和实验结果比较表明,变时间步长有限差分解简单、直观,具有较高的准确性.
  • 作者: 何宇亮 刘明 彭英才
    发表期刊: 1998年4期
    页码:  283-288
    摘要: nc-Si:H膜具有显著不同于a-Si:H与μc-Si:H膜的新颖结构与物性.从热力学反应的基元过程出发,定性地分析了本征nc-Si:H与掺磷nc-Si(P):H膜的沉积机理,并提出了进一步...
  • 作者: 万元熙 苏小保 邬钦崇
    发表期刊: 1998年4期
    页码:  289-293
    摘要: 介绍了环形狭缝波导天线等离子体源的原理和结构.采用微波单探针测量了无等离子体情况下环形波导狭缝天线内的电场分布,利用Langmuir双探针测量了该源的氩等离子体的特性,结果表明在微波功率为2...
  • 作者: 付秉相 李自高 欧军 王莉 申功烈
    发表期刊: 1998年4期
    页码:  294-297
    摘要: 介绍氧化钨基永久性的电可重编程的可变电阻器作为用于电子神经网络的模拟突触记忆联接器.该器件具有类晶体管的多层薄膜器件结构,它是依次由直流溅射和电子束蒸发工艺沉积到一个绝缘衬底,即衬底/Nj/...
  • 作者: 常本康 李晓峰 杨伟毅 车晶
    发表期刊: 1998年4期
    页码:  298-301
    摘要: 为探索微通道板的噪声来源,利用X射线光电子能谱对国内和国外MCP电极表面进行组分分析.实验发现,在国外MCP电极表面上只检测到Ni,Cr,C,O等原子谱峰,而在国内的MCP电极表面还检测到K...
  • 作者: 吴冲若 李永祥 樊玉薇
    发表期刊: 1998年4期
    页码:  302-307
    摘要: 介绍一种外延沉积化合物半导体材料的新方法--电化学原子层外延技术,它将电化学沉积技术与原子层外延技术结合起来,通过运用欠电势技术交替电化学沉积化合物的组成元素一次一个单原子层而实现外延生长....
  • 作者: 向伟 方仁昌 李文治 罗四维 赖祖武
    发表期刊: 1998年4期
    页码:  308-312
    摘要: 利用多功能离子束增强沉积设备,采用三种不同工艺方法制备TiN薄膜,并对制备的TiN薄膜进行了AES,XPS,XRD,RBS和TEM等分析.结果表明:所制备的薄膜都有很好均匀性,TiN薄膜处在...
  • 作者: 俞世吉 邬钦崇 隋毅峰
    发表期刊: 1998年4期
    页码:  313-316
    摘要: 利用自行研制的石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜装置,研究了硅基片的不同预处理方式对沉积结果的影响.通过扫描电子显微镜形貌观察和喇曼谱分析表明,基片预处理能提高形核密度;用于预处理...
  • 作者:
    发表期刊: 1998年4期
    页码:  317
    摘要:
  • 作者:
    发表期刊: 1998年4期
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    摘要:

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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