用于大面积材料表面改性研究的微波等离子体源

• 作者: 万元熙 苏小保 邬钦崇
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体 环形波导 Langmuir双探针 微波单探针
• 年，卷（期）: 1998,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 289-293
• 页数: 5页
• 分类号: TB7
• 字数: 2385字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.1998.04.009

摘要

介绍了环形狭缝波导天线等离子体源的原理和结构.采用微波单探针测量了无等离子体情况下环形波导狭缝天线内的电场分布,利用Langmuir双探针测量了该源的氩等离子体的特性,结果表明在微波功率为200～600W,运行气压为40～600Pa范围内,电子温度可达0.5～3 eV,离子密度最高达6×1010cm-3.在气压为100Pa,等离子体的直径为16 cm范围内,其不均匀性不超过25%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏小保	中国科学院等离子体物理研究所	40	156	8.0	10.0
2	邬钦崇	中国科学院等离子体物理研究所	18	105	7.0	9.0
3	万元熙	中国科学院等离子体物理研究所	7	31	3.0	5.0