CeO2薄膜的制备和表征

• 作者: 刘振祥 彭定敏 杜雪岩 王典芬 谢侃
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: CeO2薄膜 溶胶-凝胶法 X射线光电子谱
• 年，卷（期）: 1998,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 247-251
• 页数: 5页
• 分类号: TB7
• 字数: 2729字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.1998.04.002

摘要

探讨了用硝酸亚铈通过溶胶-凝胶法制备CeO2薄膜的制备工艺.用X射线衍射和扫描电子显微镜分析了薄膜的显微形貌及其晶体结构,借助X射线光电子能谱研究了薄膜表面元素Ce的化学态.结果表明,用该方法可获得质量良好的CeO2薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘振祥	中国科学院物理研究所	4	9	2.0	3.0
2	谢侃	中国科学院物理研究所	4	9	2.0	3.0
3	彭定敏		1	5	1.0	1.0
4	杜雪岩	中国科学院物理研究所	1	5	1.0	1.0
5	王典芬		3	15	3.0	3.0