多孔SnO2薄膜的导电和气敏特性

• 作者: 付秉相 李建平 王悦 韩泾鸿
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: SnO2薄膜传感器 多孔薄膜 晶界导电 气敏特性
• 年，卷（期）: 1998,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 272-275
• 页数: 4页
• 分类号: TB7
• 字数: 2068字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.1998.04.006

摘要

用RGTO方法制备多孔、颗粒状SnO2薄膜;根据SEM观察结果建立简单导电模型,并验证其导电机制主要是晶界导电;研究纯SnO2薄膜及掺杂SnO2薄膜对CO,乙醇等气体的气敏特性.掺Pt的薄膜对CO有很好的气敏响应;选择合适工作温度,可提高灵敏度改善选择性.用此种方法制得的薄膜具有良好的长期稳定性、非常短的响应和恢复时间等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建平	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	251	4235	35.0	54.0
2	韩泾鸿	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	29	197	7.0	12.0
3	王悦	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	10	32	4.0	5.0
4	付秉相	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	1	4	1.0	1.0