SnO2薄膜光透过率气体敏感机理的研究

• 作者: 边志华
• 来源期刊: 太原理工大学学报
• 关键词: 光透过率-气敏 薄膜 敏感机理
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 基金资助项目
• 页码范围: 147-149
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9432.2002.02.010

摘要

以掺杂SnO2薄膜为例,推导了薄膜上透射光的消光系数与薄膜内极化电子数和极化电子迁移率的关系式.得出当环境气氛中待测气体的浓度变化时,将导致穿过薄膜的光的透射率与之发生响应,从理论上说明研制新式的气敏-光信号类型的传感器是可行的.