超微粒SnO2薄膜元件气敏特性研究

• 作者: 侯后琴 连红
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 电子技术 SnO2 超微粒薄膜 气敏元件 灵敏度 选择性
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 1464字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2005.08.010

摘要

用射频磁控反应溅射法在Si基片上沉积SnO2超微粒薄膜,借集成电路技术制成气敏元件,并用RQ-1型气敏特性测试仪在动态配气系统中测试其气敏特性.结果表明:烧结体SnO2元件的气敏效应出现在300℃以上,而该元件的气敏效应则出现在90℃以下的低温区,有利于降低功耗;在80~90℃时,该元件对H2的灵敏度比C2H5OH和CH4高出2~3个数量级,对CO和LPG几乎不敏感.因此可用作在低温条件下工作的薄膜化、集成化、高性能的H2传感器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	连红	贵州广播电视大学实验中心	19	130	4.0	11.0
2	侯后琴		1	2	1.0	1.0