薄膜厚度对ZnO∶Al透明导电膜性能的影响

• 作者: 杨莺歌 王卿璞 郝晓涛 马洪磊 马瑾 黄树来
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO∶Al透明导电膜 薄膜厚度 柔性衬底
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 169-174
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1847字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2002.03.003

摘要

铝掺杂的氧化锌(ZnO∶Al)透明导电膜是采用射频磁控溅射法在有机衬底(Polypro-pylene adipate, PPA)和Corning 7059玻璃上制备的.详细研究了薄膜的结构性质、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系.制备的ZnO∶Al薄膜具有(002)面的单一择优取向的多晶六角纤锌矿结构,性能优良的薄膜电阻率在两种衬底上分别为2.55×10-3Ω·cm和1.89×10-3Ω·cm,平均透射率达到了80%和85%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马瑾	山东大学物理与微电子学院	44	495	13.0	20.0
2	马洪磊	山东大学物理与微电子学院	58	681	15.0	23.0
3	王卿璞	山东大学物理与微电子学院	32	527	13.0	22.0
4	郝晓涛	山东大学物理与微电子学院	12	158	7.0	12.0
5	杨莺歌	山东大学物理与微电子学院	8	124	5.0	8.0
6	黄树来	山东大学物理与微电子学院	5	72	4.0	5.0