流体组装制造的金属-碳纳米管-金属结构

• 作者: 叶雄英 周兆英 王晓浩 谭苗苗
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 碳纳米管 流体组装 接触 光刻图形化
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 395-399
• 页数: 5页
• 分类号: TN4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2008.06.001

摘要

基于碳纳米管的纳米器件制造中,金属-碳纳米管-金属结构是重要部分.通过流体组装多壁碳纳米管,并在其上沉积、光刻图形化金属制造了金属-碳纳米管-金属结构.对比不同流体组装条件下的排列效果发现,较大的样品台倾角和较高的气流速度可实现较好的碳纳米管组装.通过对碳纳米管与金属间的接触电阻进行估算和比较,金属包覆碳纳米管比碳纳米管沉积在金电极上的接触方式具有更小的接触电阻和接触电阻分散性,且碳纳米管与金电极接触状态比钛电极好.最终通过该方法制造出了接触良好的金属-碳纳米管-金属结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周兆英	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	3706	31.0	54.0
5	谭苗苗	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	6	2.0	2.0
9	叶雄英	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	62	1070	15.0	31.0
13	王晓浩	清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	69	765	13.0	25.0