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纳米技术与精密工程(英文)2008年第1期出版文献
出版文献量（篇）
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纳米技术与精密工程(英文)
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本刊是纳米技术与精密工程领域专业性学术期刊,主要刊登纳米技术、微机电系统、精密加工和精密测量方面用中、英文撰写的具有创造性的科学研究论文、研究报告以及重要学术问题讨论和综述等.办刊宗旨在于反映国内外该领域及相关领域的重要科学研究成果,促进学术交流和科学技术发展.读者对象为国内外理工科高等院校师生、科研人员和广大工程技术工作者.欢迎国内外作者踊跃投稿.
本刊为美国《工程索引》EI和中国科技论...
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主办单位：
天津大学
中国微米纳米技术学会
ISSN：
1672-6030
CN：
12-1458/03
出版周期：
季刊
邮编：
300072
地址：
出版文献量（篇）
1315
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2008年1期页码:摘要： 利用氧化、光刻、刻蚀、溅射等传统MEMS加工工艺,在绝缘衬底上的硅(SOI)基片上制作出一种厚度只有50 nm的双端固支结构的硅纳米谐振梁;在实验室条件下,针对实验中谐振粱的结构特点,提出了...
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2. 铝纳米梁的电学特性测试刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2008年1期页码:摘要： 对铝纳米梁进行了力学和电学特性测试.力学测试结果表明,铝纳米梁处于弹性形变区,具有张应力.电学测试结果表明,纳米梁电阻随着扫描次数增加而增加.通过分析电学实验结果可知,扫描次数增加使纳米梁发...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2008年1期页码:摘要： 以钛酸四丁酯为前驱体,采用水解.沉淀法制备纳米TiO2,再将其负载于海泡石上制得TiO2/海泡石催化剂,用X射线衍射和扫描电子显微镜对裁体催化荆的形貌及晶型进行了分析.以紫外先为光源,在水溶...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2008年1期页码:摘要： 采用MTT法、细胞形态学观察和流式细胞术检测纳米雌黄对白血病K562细胞生长的影响;通过免疫组化、RT-PCR方法检测雌黄纳米粒处理K562细胞后凋亡相关基因的表达变化.结果表明,雌黄纳米粒...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2008年1期页码:摘要： 基于近场静电纺丝(NFES),研究了可用于柔性电子制造的微/纳米结构直写技术.构建了电极、收集板可协调运动的直写实验平台,分析了电纺丝参数对微/纳米结构直写过程的影响和直写参数间的匹配.通过...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2008年1期页码:摘要： 面向主动流动控制研发了气泡型微致动器及其阵列技术和MEMS合成射流器技术.对气泡型微致动器参与下的飞行器翼面流场进行了数值模拟,并结合翼型开展了风洞实验,研究了气泡型微致动器对气动性能的影响...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2008年1期页码:摘要： 利用四参量能量极小化方法求解了任意薄膜/衬底厚度比悬臂梁系统的弯曲问题.在此基础上重点分析了磁膜应力和应变与构成悬臂梁的两种材料的几何参数和物理参数的关系,给出了这些参数对磁膜-衬底悬臂梁系...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2008年1期页码:摘要： 提出了一种基于介质上电润湿效应的新型透射式显示单元结构,它由夹在带有透明电极的两块玻璃板间的有色油滴和水组成,其中一个电极表面涂覆有疏水性介质层.通过改变两个电极间的外加电势,能够调节油滴对...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2008年1期页码:摘要： 抗干涉齿轮集(counter-meshing gears,CMG)机构是一种可用于微型或微小型机械组合锁的密码鉴别机构,其复合齿轮的齿牙编码是CMG机构设计的核心问题.文中结合两个典型算例,...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2008年1期页码:摘要： 提出了将时间相移显微干涉测量方法用于微结构和器件的几何特性检测上.该方法速度快、无损、非接触、易在晶片级进行,具有亚微米级的水平分辨力,垂直分辨力在纳米量级.测量系统采用Mirau显微干涉物...
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11. 多晶硅薄膜热应力的在线提取方法刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2008年1期页码:摘要： 提出了一种薄膜热应力的在线提取方法.建立了多晶硅薄膜的热学模型,计算了电流加热后产生的热应力;然后用双端固支梁静电吸合模型计算出吸合电压随热应力的变化,此变化与Coventor Ware软件...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2008年1期页码:摘要： 动态光谱的检测精度与光电脉搏波的幅值检测精度直接相关.为了获取较高的幅值检测精度,抑制光电脉搏波中的呼吸干扰,采用基于相干平均的脉搏波特征参数重构滤波和小波变换相结合的方法对光电脉搏波原始测...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2008年1期页码:摘要： 锆钛酸铅(PZT)厚膜的制备技术是制作基于PZT厚膜的微传感器和微驱动器的关键技术之一.传统的制备方法难以兼顾厚膜制备中对厚度、性能、工艺复杂度以及成本等方面的要求,因此,提出了一种新的利用...
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14. PZT薄膜的MOCVD制备技术刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2008年1期页码:摘要： 采用直接液体输运-金属有机化合物化学气相沉积技术(DLI-MOCVD)制备Pb(Zrx Ti1-x)O3薄膜(PZT薄膜),并进行了相关研究,通过调节MOCVD中影响PZT质量的主要工艺参数...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2008年1期页码:摘要： 为了避免微加速度计在加工过程中,由于湿法腐蚀的各向异性而造成的凸角处产生削角现象,必须根据各个晶向的腐蚀快慢特性和腐蚀深度的要求,在腐蚀开始前设计好补偿的掩膜图形,使之在特定的腐蚀时间后显现...
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刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2008年1期页码:摘要： 等离子增强化学气相沉积(PECVD)SiC谐振器的制作面临导电和应力及应力梯度控制问题.为了解决导电问题,采用金属W作为导电材料,它耐HF腐蚀,可简化工艺.使W薄膜应力最小的溅射条件为:Ar...
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17. 多孔硅基热敏薄膜的制备与性能刊名： 纳米技术与精密工程(英文)发表期刊： 2008年1期页码:摘要： 对MEMS用具有绝热性能的多孔硅基底上沉积的热敏感薄膜进行了研究.首先用电化学方法制备多孔硅,分别在多孔硅基底和硅基底上通过溅射镀膜方法沉积氧化钒、Cu、Au热敏薄膜,测试多孔硅基底和硅基底...
纳米技术与精密工程(英文)基本信息
| 刊名 | 纳米技术与精密工程(英文) | 主编 | 胡小唐 |
| 曾用名 | 纳米技术与精密工程 | ||
| 主办单位 | 天津大学 中国微米纳米技术学会 | 主管单位 | 中华人民共和国教育部 |
| 出版周期 | 季刊 | 语种 |
eng
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| ISSN | 1672-6030 | CN | 12-1458/03 |
| 邮编 | 300072 | 电子邮箱 | namijishu@tju.edu.cn |
| 电话 | 022-27892181 | 网址 | http://nmjsyjmgc.tjujournals.com/ |
| 地址 | 天津市南开区卫津路92号 |
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