水溶性负性光致抗蚀剂的研制

• 作者: 刘毅 单英敏 曹瑞军 高颖
• 来源期刊: 影像科学与光化学
• 学科: 工学
• 关键词: 丙烯酰胺-双丙酮丙烯酰胺共聚物 聚乙烯吡咯烷酮 水溶性负性光致抗蚀剂
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 116-124
• 页数: 9页
• 分类号: TQ57
• 字数: 4750字
• 语种: 中文

摘要

以自制丙烯酰胺.双丙酮丙烯酰胺共聚物和聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为成膜基体物质,芳香族叠氮化合物为感光荆,研制出水溶性负性光致抗蚀剂配方.通过正交试验确定了最优配方.即共聚物中AM与DAAM质量比为1:1;P(AM-DAAM)与PVP质量比为1:2;感光剂用量为占成膜基体物质质量的1/6;偶联剂用量占成膜基体物质质量的1/60;表面活性剂G-18用量占成膜基体物质质量的1/40.在该配方下配制的光致抗蚀剂达到商品规格要求.通过与国外同类商品的比较得出自制光致抗蚀剂具有同国外商品相当的感光性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹瑞军	西安交通大学理学院应用化学系	42	377	12.0	18.0
2	单英敏	西安交通大学理学院应用化学系	4	12	3.0	3.0
3	高颖	西安交通大学理学院应用化学系	4	14	3.0	3.0
4	刘毅	西安交通大学理学院应用化学系	10	21	3.0	4.0