水溶性光致抗蚀剂研究进展

• 作者: 王力元 翟晓晓 褚战星
• 来源期刊: 感光科学与光化学
• 学科: 化学
• 关键词: 水溶性光致抗蚀剂 化学增幅 正型 负型
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 69-79
• 页数: 11页
• 分类号: O64
• 字数: 6105字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-0475.2007.01.010

摘要

本文按传统光化学反应型和化学增幅型两种类型对近10年水溶性光致抗蚀剂的发展状况做了分类总结,并重点介绍了成像反应原理和各体系的优缺点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王力元	北京师范大学化学学院	22	78	5.0	8.0
2	褚战星	北京师范大学化学学院	2	6	2.0	2.0
3	翟晓晓	北京师范大学化学学院	2	4	1.0	2.0