基于准分子激光加工技术的内嵌光纤型微流控器件的制备

• 作者: 张宇 金永龙 顾宁
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 准分子激光微加工 微流控芯片 光纤 聚甲基丙烯酸甲酯
• 年，卷（期）: 2008,（11）
• 所属期刊栏目: 激光直接制造与微纳加工
• 页码范围: 1821-1824
• 页数: 4页
• 分类号: TG665
• 字数: 2723字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2008.11.029

摘要

为了方便、快速、低成本地检测样品,提出一种内嵌光纤型微流控芯片的制备方法.利用248 nm的KrF准分子激光在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片上进行微加工,构建芯片结构,并嵌入腐蚀过的直径35μm的单模光纤,从而形成内嵌光纤型芯片.探讨了准分子激光加工参数以及嵌入光纤的方法.结果表明,用准分子激光加工芯片,可控性好、简便可靠、加工过程可实现无人化.内嵌光纤实现了光纤的相互对准以及光纤对流道中央的对准,可以灵敏地获取样品的光学信号.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张宇	东南大学生物电子学国家重点实验室江苏省生物材料与器件重点实验室	77	1078	19.0	31.0
2	顾宁	东南大学生物电子学国家重点实验室江苏省生物材料与器件重点实验室	182	1683	20.0	32.0
3	金永龙	东南大学生物电子学国家重点实验室江苏省生物材料与器件重点实验室	2	3	1.0	1.0