准分子激光加工表面微观形貌测量和数据处理方法研究

• 作者: 刘莹 温诗铸 陈定方
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 准分子激光加工 表面微观形貌 统计参数计算 3维数字化处理
• 年，卷（期）: 2002,（19）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 1692-1695
• 页数: 4页
• 分类号: TH117
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2002.19.024

摘要

用紫外波长为λ=248nm的准分子激光器,分辨率为50nm的精密微动工作台及其控制器,在一定的工艺参数下,对Al2O3陶瓷、不锈钢等材料表面分别进行准分子激光加工,构建准分子激光加工表面微观形貌.对加工表面的几何形貌分别采用扫描电子显微镜(SEM)、表面形貌仪进行测量,并通过对SEM图像的3维数字化处理,得出表面3维形貌图.同时用MatLab处理表面形貌仪的测量数据和计算表面形貌统计参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈定方	武汉理工大学物流工程系	401	3609	27.0	41.0
2	刘莹	南昌大学机电工程学院	153	1424	18.0	30.0
6	温诗铸	清华大学精密仪器与机械学系	156	3364	28.0	50.0