Al2O3陶瓷表面准分子激光加工的形貌特征

• 作者: 刘莹 温诗铸
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光加工 表面形貌 形貌参数特征
• 年，卷（期）: 2005,（8）
• 页码范围: 929-931,973
• 页数: 4页
• 分类号: TG665
• 字数: 2743字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2005.08.013

摘要

以微机械为应用背景,采用准分子激光加工方法对Al2O3陶瓷材料表面进行加工,考察加工表面的形貌特征.研究表明,准分子激光加工表面形貌的统计参数具有显著的规律性.其高度参数的算术平均值Ra和均方根值Rq随工艺参数呈现同步同趋势变化的规律,并且相互之间具有定量的关系.对此本文提出了准分子激光加工表面轮廓的简化模型,分析计算的结果与实测数据基本吻合.研究还表明,准分子激光加工表面相当平坦,其坡度均方根值Z ·q随工艺参数的变化不大.上述特征是由准分子激光加工原理决定的,与通常的切削加工截然不同.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘莹	南昌大学机电工程学院	153	1424	18.0	30.0
2	温诗铸	清华大学摩擦学国家重点实验室	156	3364	28.0	50.0