准分子激光加工参数对表面形貌影响的模糊分析

• 作者: 刘文广 刘莹 李小兵 赵磊
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光加工 工艺参数 表面形貌参数 模糊分析
• 年，卷（期）: 2004,（11）
• 页码范围: 1272-1274
• 页数: 3页
• 分类号: TH117.1
• 字数: 3479字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2004.11.004

摘要

采用准分子激光微细加工方法,选用不同的工艺参数加工Al2O3陶瓷材料试件.通过表面轮廓仪测量并计算表面形貌统计参数.分析了激光加工工艺参数对表面形貌的影响,利用模糊分析方法,就激光器的放大器电压、激光脉冲频率、激光扫描速度等工艺参数对表面形貌轮廓均方根值Rq的影响进行了评价.结果表明,Rq值随激光器的放大器电压和激光脉冲频率的增大而增大,随激光扫描速度的增大而减小.分析得出,激光加工工艺参数对表面形貌的影响程度不同,由大到小依次为激光扫描速度、激光脉冲频率、放大器电压.因此,可以通过合理地选择工艺参数获得所需求的表面形貌,为表面微观形貌修饰提供了参考依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘莹	南昌大学机电工程学院	153	1424	18.0	30.0
2	李小兵	南昌大学机电工程学院	72	616	11.0	22.0
3	刘文广	景德镇陶瓷学院机电工程系	7	35	4.0	5.0
4	赵磊		24	148	7.0	11.0