锰铜压力计的制作新工艺

• 作者: 张远平 池家春 王广军 龚晏青
• 来源期刊: 高能量密度物理
• 学科: 工学
• 关键词: 锰铜压力计 激光标刻 热压封装 新工艺
• 年，卷（期）: gnlmdwl_2008,（4）
• 页码范围: 166-168
• 页数: 3页
• 分类号: TQ564.07

摘要

将用ACDSEE软件绘制的锰铜压力计图案在电镀后的锰铜箔上使用激光标刻技术“雕刻”出“所见即所得”的压力计，省略了传统工艺制作锰铜压力计所需要的多步工序，减少了制作工序中光、胶、有毒化学物质的污染。用硫化机热压封装锰铜压力计，不使用胶粘剂，提高了高冲击压力下绝缘层的绝缘性能，降低了电流旁路效应。试验检验结果表明，新工艺较传统工艺制作的压力计性能有一定的提高。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚晏青	中国工程物理研究院流体物理研究所冲击波物理与爆轰物理实验室	12	56	4.0	7.0
2	王广军	中国工程物理研究院流体物理研究所冲击波物理与爆轰物理实验室	10	45	4.0	6.0
3	张远平	中国工程物理研究院流体物理研究所冲击波物理与爆轰物理实验室	15	159	8.0	12.0
4	池家春	中国工程物理研究院流体物理研究所冲击波物理与爆轰物理实验室	4	3	1.0	1.0