非晶碳涂层的摩擦磨损性能研究

• 作者: 张伟 柳清亮 汪勇
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶碳涂层 梯度涂层 摩擦磨损性能
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: TH117.3
• 字数: 2443字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2008.01.007

摘要

采用多源磁控溅射物理气相沉积法在单晶硅表面制备梯度变化非晶碳涂层(类金刚石薄膜),通过调整工艺参数获得厚度在1～2μm的涂层.采用MML多功能纳米性能测试系统测试了非晶碳涂层的纳米硬度和弹性模量.采用CETR UTM-2型显微摩擦测试仪测试了非晶碳涂层在不同载荷下的摩擦磨损行为.结果表明,涂层具有较高的硬度和弹性模量,可以分别达到12.5GPa和184GPa;涂层在不同的载荷下具有较好的摩擦性能,摩擦因数基本保持在0.1左右,磨损率达到10-9 mm3/ N·m数量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张伟		12	163	8.0	12.0
2	柳清亮		2	3	1.0	1.0
3	汪勇		2	3	1.0	1.0