离子束清洗对光学太阳反射镜(OSR)性能的影响研究

• 作者: 何延春 吴春华 李林 王洁冰 许旻 赵印中 邱家稳
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 物理学
• 关键词: 离子束清洗 OSR 膜层附着力
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 149-151
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 2415字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2008.03.005

摘要

主要通过调整离子束清洗时间、清洗气氛、清洗功率(电流)等工艺参数,并结合OSR的膜层附着力测试以及光学性能测试,研究了离子束清洗各工艺参数对OSR性能的影响.结果表明,离子束清洗可以显著提高OSR的膜层附着力.