基于扫描电子显微镜的集成电路显微拍摄系统

• 作者: 刘伟 殷伯华
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 芯片显微拍摄 电子束控制器 压电陶瓷电机
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2017字
• 语种: 中文

摘要

提出使用扫描电子显微镜来获取集成电路芯片的形貌图像,以弥补光学显微镜分辨率的不足.利用拼接的方法来获得完整的芯片形貌图像.描述了压电陶瓷电机驱动工件台的工作原理.该工件台的定位误差小于20 nm,可使临近图像的重叠区域保持一致.介绍了使用电子束扫描控制器对电镜扫描场进行增益、旋转和位移校正的方法,使获得的芯片图像不需旋转即可进行拼接,减少了后续图像处理软件的工作量.实验证明,该系统可以获得亚微米级芯片的清晰图像.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘伟	山东理工大学电气与电子工程学院	80	231	7.0	9.0
2	殷伯华	中国科学院电工研究所	24	94	6.0	8.0