一种基于部分补偿与稀疏阵列的深度非球面测量新方法

• 作者: 乔玉晶 于晓洋 吕宁
• 来源期刊: 四川大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面测量 干涉测量 稀疏阵列 针孔模板 部分补偿
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1174-1178
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 2655字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0490-6756.2008.05.034

摘要

为了克服传统非球面补偿法测量对象的单一性,并提高非球面的动态测量范围,提出一种部分补偿与稀疏阵列CCD结合测量深度非球面的新方法.该方法首先采用多针孔阵列将CCD的感光面转换成稀疏阵列,通过降低干涉条纹的条纹密度来提高干涉仪的可测空间频率;根据被测非球面所需补偿的动态范围设计计算全息元件,部分补偿非球面性后,通过干涉测量获得深度非球面的表面信息.分析表明,采用该方法的干涉仪相对于传统干涉仪测量范围能扩大到10倍,实验表明稀疏阵列和部分补偿方法结合后能够实现精确的深度非球面测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于晓洋	哈尔滨理工大学自动化学院	118	1481	21.0	30.0
2	乔玉晶	哈尔滨理工大学自动化学院	14	170	6.0	13.0
3	吕宁	哈尔滨理工大学自动化学院	35	289	9.0	15.0