一种高性能的硅微谐振陀螺

• 作者: 樊尚春 王路达 郭占社
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械陀螺 谐振式 高灵敏度 解耦
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 37-40
• 页数: 4页
• 分类号: TH824.3|TP212.1
• 字数: 1674字
• 语种: 中文

摘要

基于谐振敏感原理,设计了硅微谐振陀螺,它具有直接的准数字式频率输出、高灵敏度、参数设计灵活等优点,其结构包括质量块、悬臂梁、杠杆放大机构、双端固支音叉(DETF)、激励和检测梳齿.内外质量块结构和杠杆机构特殊设计可以实现结构解耦;质量块外置、杠杆放大结构及双DETF结构可以改善结构灵敏度.模态分析和谐响应通过A.NSYS进行,公式运算和参数优化通过MATLAB实现.从仿真结果可以看出,陀螺的灵敏度值为75 mHz/(deg/s),且实现了自解耦.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王路达	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	2	8	1.0	2.0
7	郭占社	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院	5	24	3.0	4.0