静电硅微多折叠梁谐振器设计和试验研究

• 作者: 吴晓铃 孙俊杰 杨杰伟 赵江铭 陈晓阳
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微型机电系统 静电硅微多折叠梁谐振器 横向振动模型 试验研究 谐振频率
• 年，卷（期）: 2008,（14）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1669-1673
• 页数: 5页
• 分类号: TP112
• 语种: 中文

摘要

建立了静电硅微多折叠梁谐振器的横向振动模型,得到了多折叠梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式.用标准体硅微工艺设计加工出两类共4种该类谐振器,通过试验测定其谐振频率,并用ANSYS软件进行了模态分析.结果表明,该类谐振器谐振频率的理论计算值和ANSYS模拟值与实测值间的相对误差均小于2%,验证了该理论模型的正确性.采用多折叠梁谐振器可以实现低频下大振幅的电能-微机械能的转换.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨杰伟		17	48	3.0	6.0
2	孙俊杰		68	251	8.0	12.0
3	陈晓阳		138	1179	18.0	25.0
4	吴晓铃		38	369	9.0	18.0
5	赵江铭		15	49	3.0	6.0