单侧支撑静电硅微谐振器的试验研究

• 作者: 张永宇 沈雪谨 赵江铭 陈晓阳
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: MEMS 静电硅微谐振器 单侧支撑结构 双侧支撑结构
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳传感器与执行器
• 页码范围: 193-195
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.066

摘要

对设计梁长120μm、梁宽2μm的单侧折叠梁微谐振器进行试验研究,测定了常温常压下的谐振频率、品质因子以及不同电压下的谐振振幅,并与相同条件下、相同梁长的双侧支撑微谐振器的试验结果进行了对比.研究表明:谐振振幅是直流偏置电压的线性函数,是交流驱动电压的二次幂函数;相同条件下,单侧支撑微谐振器的振幅输出大于双侧支撑微谐振器的振幅输出.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晓阳		138	1179	18.0	25.0
2	张永宇		7	67	5.0	7.0
3	赵江铭		7	47	5.0	6.0
4	沈雪谨		1	3	1.0	1.0