弓型梁静电硅微谐振器建模与实验

• 作者: 刘武发 赵江铭 郑艳萍 陈晓阳
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微谐振器 弓型支撑梁 谐振频率
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 页码范围: 1362-1365,1370
• 页数: 5页
• 分类号: TP112
• 字数: 2469字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2007.10.030

摘要

根据梁的小变形理论和位移叠加原理,建立了弓型梁微谐振器的横向振动模型,得到了弓型复杂梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析表达式.通过ANSYS软件的模拟分析,及对用体硅工艺制作的两种类型弓型梁谐振器的谐振频率实验实测,表明该谐振器的1阶横向谐振频率的计算值与实测值间的相对误差及ANSYS模拟值与实测值间的相对误差均小于3%,验证了所建模型的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘武发	郑州大学机械工程学院	41	328	9.0	17.0
2	陈晓阳	上海大学机电工程与自动化学院	138	1179	18.0	25.0
3	郑艳萍	郑州大学机械工程学院	66	320	11.0	14.0
4	赵江铭	郑州大学机械工程学院	15	49	3.0	6.0