基于电镀技术的微间隔制作及其在气体检测中应用的研究

• 作者: 于晶 吴坚 杨深 林辉 袁青 郭希山
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 气体传感器 微间隙 在线监测 气体电离 击穿电压
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器应用
• 页码范围: 1269-1272
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.3
• 字数: 2496字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.07.037

摘要

开发了一种基于电离现象的气体传感器.首先研究了采用低成本的电镀方法来制作具有微米间隔的镍电极对,然后通过测试在不同条件下电极对的击穿电压和电流来实现气体检测.实验结果表明该器件对乙醇气体,其击穿电压在300 V左右;而对水蒸气,其击穿电压在320 V左右.同时,对乙醇而言,随着乙醇浓度的增加,在同一击穿电压下击穿电流也不断增大.对不同浓度的水蒸气的实验中也得到相类似的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林辉	浙江大学生物医学工程与仪器科学学院	32	217	9.0	14.0
2	郭希山	浙江大学生物系统工程与食品科学学院	27	336	11.0	17.0
3	袁青	浙江大学生物医学工程与仪器科学学院	3	8	2.0	2.0
4	于晶	浙江大学生物医学工程与仪器科学学院	4	12	3.0	3.0
5	吴坚	浙江大学生物系统工程与食品科学学院	22	152	6.0	11.0
6	杨深	浙江大学生物医学工程与仪器科学学院	1	0	0.0	0.0