紫外光刻加工误差实验

• 作者: 于磊 刘雳颋 张峰 沈连嬉 田扬超 赵玮 郑津津
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外光刻 正交实验法 信噪比 改进的Canny算法
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 430-436
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 4024字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2008.06.007

摘要

为研究基于紫外光刻加工技术的光刻胶模型形状误差与工艺参数的关系,利用正交实验法对正性光刻胶AZ9260进行了实验研究.引入田口方法关于信噪比统一测度的思想,获得了各加工工艺参数对光刻胶模型加工误差的影响显著度,其中甩胶速度、曝光时间和显影时间为显著因素.对所获得的光刻胶模型电镜图片采用了一种改进的Canny算法,实现了图像边缘提取.进而对加工误差的表征与量化方法进行了研究.获得了10～30μm尺度的方形、直线和圆形图形的尺寸误差、直边直线度和直角圆化误差值.研究表明,图形的尺寸误差和直边直线度误差与图形尺寸之比随图形尺寸变大而变小,直角圆化的圆角半径不大于2μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张峰	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	149	3496	30.0	56.0
2	田扬超	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	50	372	12.0	17.0
3	郑津津	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	56	224	8.0	11.0
4	赵玮	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	22	237	9.0	15.0
5	于磊	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	39	484	10.0	21.0
6	刘雳颋	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	1	8	1.0	1.0
7	沈连嬉	中国科学技术大学精密机械与精密仪器系	1	8	1.0	1.0