生物/化学微传感器技术和应用(一)

• 作者: 史永基 高雅利
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 化学/生物传感器 CMOS:IC技术 集成传感器 微电子机械系统(MEMS) 微制造技术
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 技术综述
• 页码范围: 6-11
• 页数: 6页
• 分类号: TP212.2|TP212.3
• 字数: 7115字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2008.10.001

摘要

本文综述了生物/化学微传感器的技术和应用,详细描述了起源于半导体技术的标准工艺流程和制造三维机械结构的特殊微细机加工工艺,给出了基本化学传感器原理和对应的化学/生物传感器应用实例,最后提出了单片集成化学/生物微传感器系统.包括单一芯片上传感器结构和运转电路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史永基	洛阳市洛阳理工学院老干部处	2	10	1.0	2.0
2	高雅利	洛阳市洛阳理工学院老干部处	1	1	1.0	1.0