薄膜透气性测试中基于半导体的恒温控制

• 作者: 刘娜 庞然 汪仁煌 龚雄文
• 来源期刊: 广东工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜透气性测试 半导体制冷 PID恒温控制 单片机MSC1210
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 69-72
• 页数: 4页
• 分类号: TP273+.5
• 字数: 3083字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7162.2008.01.017

摘要

针对薄膜透气性测试气体透过量、气体渗透系数受环境温度影响较大的问题,综合运用了半导体制冷技术以及具有高性能模拟特性和数字处理能力并集成了高性能外设的新型SoC模拟信号处理单片机MSC1210的PID恒温控制为该测试提供恒温环境,有利于提高测试的准确度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪仁煌	广东工业大学自动化学院	169	1239	15.0	26.0
2	刘娜	广东工业大学自动化学院	7	53	4.0	7.0
3	庞然	广东工业大学自动化学院	6	33	4.0	5.0
4	龚雄文	广东工业大学自动化学院	3	15	2.0	3.0