用于氮化镓发光二极管窗口层的铝掺杂氧化锌的生长

• 作者: 吴嘉城 林伯融 武东星 游亭恩 陈采宁
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 铝掺杂氧化锌薄膜 表面粗化 电流分布层 窗口层
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 508-512
• 页数: 5页
• 分类号: O482.31
• 字数: 814字
• 语种: 中文

摘要

因应新时代电子产品的需求,透明导电薄膜(Transparent Conductive Oxides, TCO)的应用也更加广泛,传统上是使用氧化铟锡(Indium Tin Oxide, ITO)薄膜为透明导电薄膜,但其在高温应用上较不稳定并且易放出毒性,因此,铝掺杂氧化锌薄膜(ZnO∶Al, AZO)有逐渐取代ITO的趋势.本论文将探讨掺杂不同铝含量的影响,并且就其光电特性加以说明,最后得到其光的透过率～85%、电阻率～7.3×10-3 Ω·cm以及面粗糙度～28 nm的铝掺杂氧化锌薄膜,其具有表面粗化、电流分布层及窗口层的作用.并且将掺铝的氧化锌薄膜应用于氮化镓发光二极管上,以掺铝氧化锌微结构作为透明传导层的氮化镓发光二极管(λD=530 nm,300 ×300 μm)在20 mA的工作电流下,其正向电压值为3.3 V,输出功率达1.7 mW,并且由光学显微镜图可以得知,小电流注下其电流分布均匀.若将AZO制作参数再作适当优化调整,取代ITO作为p型氮化镓上的透明传导层的可行性应该很高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴嘉城	台湾中兴大学材料科学及工程学系	1	7	1.0	1.0
2	林伯融	台湾中兴大学材料科学及工程学系	1	7	1.0	1.0
3	陈采宁	台湾中兴大学材料科学及工程学系	1	7	1.0	1.0
4	游亭恩	台湾中兴大学材料科学及工程学系	1	7	1.0	1.0
5	武东星	台湾中兴大学材料科学及工程学系	1	7	1.0	1.0