热CVD法制备纳米硅粉及其表征

• 作者: 姚奎鸿 杨红 汪新颜 王勇 金达莱 马照军
• 来源期刊: 浙江大学学报（理学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 热CVD法 纳米硅粉 均相分解
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 280-284
• 页数: 5页
• 分类号: TN304
• 字数: 3216字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-9497.2008.03.010

摘要

采用简单的热CVD反应法成功制备了纳米硅粉、X射线衍射和透射电镜结果表明:该产物是无定形的球形纳米粉体,粒径为20～100 nm.粉体粒径随分解温度敏感,温度升高粒径减小,但高于700℃时急剧增加.傅立叶红外分析表明,粉体存在Si-H键,且H含量随分解温度升高而降低.进一步研究表明,该无定形纳米硅粉经700℃退火处理可转变为晶体硅.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王勇	浙江理工大学材料工程中心	33	187	9.0	12.0
2	金达莱	浙江理工大学材料工程中心	37	115	6.0	10.0
3	姚奎鸿	浙江理工大学材料工程中心	47	201	10.0	12.0
4	杨红	浙江理工大学材料工程中心	10	29	3.0	5.0
5	汪新颜	浙江理工大学材料工程中心	7	12	2.0	3.0
6	马照军	浙江理工大学材料工程中心	9	28	2.0	5.0