显示器用纳米印刷技术的研究动向

• 作者: 李桂林（译）
• 来源期刊: 显示器件技术
• 学科: 工学
• 关键词: 印刷技术 纳米 显示器 微加工技术 刻蚀技术 制作工艺 高性能化 生产能力
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 页码范围: 20-27
• 页数: 8页
• 分类号: TN873

摘要

1、前言 近年来。随着装置集成化、高性能化的飞速发展．以纳米量纲制造各种产品的极细微加工技术取得了大发展。在具有代表性的极细加工技术中，有电子束刻蚀技术、浸渍笔刻蚀技术。等，但因装置价格高昂．或因连笔描画逐次加工法的工艺限制等，存在着生产能力太小等课题，在现状下，尚难于作为实用的装置制作工艺进行应用。