硅片线切割有限元热分析

• 作者: 刘志东 史勇 王亮 田宗军 邱明波 黄因慧
• 来源期刊: 电加工与模具
• 学科: 工学
• 关键词: 硅片 电火花线切割加工 有限元 热分析
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 设计·研究
• 页码范围: 36-39
• 页数: 4页
• 分类号: TG661
• 字数: 3726字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-279X.2008.05.007

摘要

硅片放电切割是一种新型的工艺方法,硅片放电切割技术能直接得到大尺寸、超薄硅片,且不受硅片各向异性的影响.设备成本很低,切割效率较高.该文用有限元方法对低电阻率单晶硅片的放电加工温度场和应力场进行分析,探讨放电参数对加工表面形貌及性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王亮	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室	19	153	6.0	12.0
2	田宗军	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室	220	2027	21.0	32.0
3	黄因慧	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室	219	2593	26.0	36.0
4	刘志东	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室	229	1912	22.0	29.0
5	史勇	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室	3	62	3.0	3.0
6	邱明波	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室	78	554	13.0	20.0